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上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司

PRODUCT DISPLAY

當(dāng)前位置:上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司>>管式爐>>PECVD系統(tǒng)>> PECVD-8-16中小式(12片,6英寸基片)PECVD系統(tǒng)

中小式(12片,6英寸基片)PECVD系統(tǒng)

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號:PECVD-8-16

品       牌:其他品牌

廠商性質(zhì):代理商

所  在  地:上海市

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更新時(shí)間:2025-03-13 09:20:44瀏覽次數(shù):2151次

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產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,電子/電池
退溫系統(tǒng) 3塊3000型歐陸(Eurotherm)儀表,可設(shè)置24段升降溫段
PECVD-8-16是一款平行板電容式PECVD系統(tǒng),適用于中小式生產(chǎn)和實(shí)驗(yàn),可放置12片6英寸基片。此系統(tǒng)組成:8英寸石英管管式爐,最高溫度為1100℃,一個(gè)批量型石墨舟(可放12片基片),1000W射頻電源,和一個(gè)4通道混氣系統(tǒng)。此設(shè)備特別適用于太陽能電池和二維材料,擴(kuò)產(chǎn)前測試實(shí)驗(yàn)。

爐體結(jié)構(gòu):

高純氧化鋁纖維作為爐膛材料

采用三可加熱區(qū),可達(dá)到600mm長的恒溫區(qū)

外徑304mm.內(nèi)徑203mm的石英管,帶有不銹鋼密封法蘭

一個(gè)電動滑軌,上面裝載石墨舟和樣品

高純石墨舟,可轉(zhuǎn)載12片圓片或方形片,尺寸可達(dá)6英寸

• 1000W RF13.5MHz)等離子電源

• 4通道混氣系統(tǒng)

可選購真空泵(油泵或無油泵)

電源要求:

•208-240VAC,單相,50/60Hz

• 9KW

石英管,法蘭

外徑304mm×內(nèi)徑203mm×長度1300mm

設(shè)備包含一根石英管,可購買備用石英管

配有SS304不銹鋼法蘭,帶有KF40真空接口&閥門和進(jìn)氣口&出氣口

安裝有一套雙滑軌,直流電機(jī)驅(qū)動法蘭和樣品舟移動進(jìn)出石英管

 

石墨舟

石墨舟采用高純石墨(產(chǎn)自日本)制作,帶有RF電極

•12個(gè)插槽(4×3)可裝載樣品尺寸6英寸×6英寸×0.5mm厚度或直徑6英寸圓片

客戶可定制石墨舟(4×45×4

 

管式爐:

加熱元件:NiCrAl合金絲

加熱區(qū):3個(gè)加熱區(qū)(300mm300mm300mm

恒溫區(qū):600mm(+/- 2°C, 3個(gè)溫區(qū)設(shè)置同樣的溫度)

工作溫度:400-1100℃

最大加熱冷卻速率:10℃/min

退溫系統(tǒng):

•33000型歐陸(Eurotherm)儀表,可設(shè)置24段升降溫段

•3K型熱電偶

控溫精度:+/- 0.1°c

包含軟件和PC界面模塊

射頻等離子電源:

輸出功率:20-1000W(可調(diào)節(jié),穩(wěn)定性± 1%

• RF頻率:13.56MHz

匹配方式:自動匹配

冷卻:空氣冷卻

噪音:<50dB

輸入電源:110-240VAC,50/60Hz

供氣系統(tǒng):

•4個(gè)質(zhì)量流量計(jì)安裝在一個(gè)移動架內(nèi),控制精度:±1.5%FS,重復(fù)精度:±0.2%FS

控制10~100SCCM

控制21~199SCCM

控制31~199SCCM

控制41~499SCCM

觸摸屏控制,設(shè)置各種參數(shù)

安裝有RS485接口,用于通過PC遠(yuǎn)程控制

每個(gè)工位的流量控制范圍可按客戶要求定制

真空泵,真空計(jì):

一個(gè)防腐型數(shù)顯真空計(jì),測試范圍可達(dá)到10-5torr

設(shè)備使用需要真空泵,可在本公司選購各種真空泵

凈重:

500kg

質(zhì)保:

一年保質(zhì)期,針對電器和機(jī)械部分,不包括加熱元件,石英管,密封圈


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