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上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司

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當(dāng)前位置:上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司>>管式爐>>PECVD系統(tǒng)>> OTF-1200X-PESDSF-50雙爐體滑動(dòng)PECVD系統(tǒng)-循環(huán)手套箱

雙爐體滑動(dòng)PECVD系統(tǒng)-循環(huán)手套箱

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào):OTF-1200X-PESDSF-50

品       牌:其他品牌

廠商性質(zhì):代理商

所  在  地:上海市

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更新時(shí)間:2025-03-13 09:34:33瀏覽次數(shù):2482次

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產(chǎn)地類別 國(guó)產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,能源,電子/電池
電源 AC220,50Hz
OTF-1200X-PESDFG-50是一款雙爐體滑動(dòng)的PECVD系統(tǒng),連接循環(huán)手套箱。此款設(shè)備中石英爐管與循環(huán)手套箱連接,可利用CVD方法,將樣品處理后直接移入到氣氛保護(hù)環(huán)境下的手套箱中。爐體采用滑動(dòng)式,可在實(shí)驗(yàn)室中對(duì)樣品進(jìn)行快速加熱和快速冷卻。此款儀器特別適合新一代納米材料和二維晶體材料的探索研究。

    手套箱特點(diǎn):

    •真空法蘭在手套箱的左邊,與PECVD系統(tǒng)的石英管連接;

    •兩個(gè)爐體在一個(gè)滑軌上,可通過爐體的滑動(dòng)達(dá)到對(duì)樣品快速加熱和快速冷卻的效果!

    加熱爐參數(shù):

    •連續(xù)工作溫度:1100℃

    •兩個(gè)爐體都可設(shè)置30段升降溫程序

    •高純氧化鋁纖維作為爐膛材料(表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率延長(zhǎng)爐膛使用壽命)

    •電源:AC220,50Hz   最大功率:3KW

    手套箱參數(shù):

    •帶有除水系統(tǒng):保持水含量<2ppm

    •真空法蘭在手套箱的左邊,與PECVD系統(tǒng)的石英管連接

    射頻電源:
 

 

image.png 

    真空系統(tǒng):

    •·采用TRP-12的雙旋真空泵;

    •KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

    •真空度可達(dá)10-2Torr。

    供氣系統(tǒng)(可選):

    •客戶可選購(gòu)四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%);

    •流量范圍:

 


image.png 

    •電壓:208-240V,AC,50/60Hz;

    •氣體進(jìn)出口配件:6mmOD的聚四氟管或不銹鋼管;

    •不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出;

    •PLC觸摸屏可以簡(jiǎn)便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。

    產(chǎn)品尺寸:

    爐體尺寸:1600mm(L)-430mm(W)-500mm(H)

    手套箱尺寸:780mm(L)-700mm(W)-650mm(H)

    質(zhì)保:

    一年保質(zhì)期,終身維護(hù),不包括爐管,硅膠密封圈和加熱元件

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