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上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司

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當(dāng)前位置:上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司>>管式爐>>PECVD系統(tǒng)>> OTF-1200X-S-Ⅱ-R-4CV-PE1200℃等離子增強(qiáng)小型PECVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)

1200℃等離子增強(qiáng)小型PECVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào):OTF-1200X-S-Ⅱ-R-4CV-PE

品       牌:其他品牌

廠商性質(zhì):代理商

所  在  地:上海市

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更新時(shí)間:2025-03-13 09:38:10瀏覽次數(shù):5252次

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產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,電子/電池
輸入電壓 AC208-220V, 50/60Hz
OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE是一款1200℃PECVD等離子體增強(qiáng)氣相沉積由射頻電源、雙溫區(qū)管式爐、4通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)、性能優(yōu)異的真空泵及水冷機(jī)組成。此套完整的設(shè)備系統(tǒng)特別適合用于無機(jī)復(fù)合粉末的熱處理以及粉未表面的改性處理工藝中(如:粉體摻雜(空穴、間隙原子)、表面改性、表面包覆及制備鋰離子電池陰極粉末的導(dǎo)電涂層等)。
    1200℃等離子增強(qiáng)小型PECVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn):

    1、射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度;

    2、齒輪驅(qū)動(dòng)管式爐旋轉(zhuǎn)可有效地提高復(fù)合粉末熱處理的均勻性;

    3、4通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可以對(duì)氣體的輸送進(jìn)行精確的調(diào)控;

    4、爐體開啟式設(shè)計(jì),以達(dá)到對(duì)樣品快速降溫,方便更換爐管。

    1200℃等離子增強(qiáng)小型PECVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)參數(shù):

    工作電源:

    •輸入電壓:AC208-220V,50/60Hz

    •總功率:<4KW

    加熱爐參數(shù):

    •最高溫度:1100℃(<30min);連續(xù)工作溫度:1000℃;

    •兩個(gè)PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng),控溫精度:±1℃;

    •工作電壓:110V;

    •額定功率:1.5KW;

    •回轉(zhuǎn)爐旋轉(zhuǎn)速度:0-5rpm。

    射頻電源:
 
image.png

    真空系統(tǒng):

    •·采用TRP-12的雙旋真空泵;

    •KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

    •真空度可達(dá)10-2Torr。

    供氣系統(tǒng)(可選):

    •客戶可選購四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%);

    •流量范圍:

image.png
    •電壓:208-240V,AC,50/60Hz;

    •氣體進(jìn)出口配件:6mmOD的聚四氟管或不銹鋼管;

    •不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出

    •PLC觸摸屏可以簡便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置

    循環(huán)水冷機(jī):

    標(biāo)配KJ-5000循環(huán)水冷機(jī),水流速率:16L/min

    產(chǎn)品尺寸和重量:

    尺寸:1400mmL-600mmW-1240mmH

    凈重:90Kg

    承諾:

    一年保質(zhì)期,終身維護(hù),不包括爐管,硅膠密封圈和加熱元件

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