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上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司

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當(dāng)前位置:上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司>>管式爐>>PECVD系統(tǒng)>> OTF-1500X-Ⅱ-4CV-PE-SL三溫區(qū)1500℃PECVD系統(tǒng)

三溫區(qū)1500℃PECVD系統(tǒng)

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號:OTF-1500X-Ⅱ-4CV-PE-SL

品       牌:其他品牌

廠商性質(zhì):代理商

所  在  地:上海市

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更新時(shí)間:2025-03-13 09:40:27瀏覽次數(shù):2510次

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產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,電子/電池
基本參數(shù) 最高工作溫度1500℃(<30min);連續(xù)使用溫度1400℃
OTF-1500X-III-4CV-PE-SL是一款三溫區(qū)1500℃的PECVD管式爐系統(tǒng),該設(shè)備由射頻電源、1500℃三溫區(qū)管式爐、多通道質(zhì)子混氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成。此款PECVD系統(tǒng)可廣泛應(yīng)用于生長納米線、石墨烯及薄膜材料領(lǐng)域。

產(chǎn)品特點(diǎn):

帶有石英觀察窗口的不銹鋼真空密封法蘭,便于觀察等離子發(fā)光(圖1);

射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng),從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度;

四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可以對氣體的輸送進(jìn)行精確的調(diào)控;

此款設(shè)備可安裝控制模塊,將溫度設(shè)置和溫度曲線導(dǎo)入到電腦(圖2、3);

此款設(shè)備可選配控溫精度為±0.1℃的歐陸儀表(圖4)。

image.pngimage.pngimage.pngimage.png 

基本參數(shù):

最高工作溫度1500℃<30min);連續(xù)使用溫度1400℃;

三個(gè)PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng),控溫精度:±1℃,帶有超溫和斷偶保護(hù);

•·輸入電源: 208-240V,AC,單相;最大功率:6.6 KW;

內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的1760度高溫氧化鋁涂層,可以提高設(shè)備加熱效率及反射率,同時(shí)延長儀器的使用壽命。

注意:此設(shè)備不標(biāo)配爐管。購買前請與我們銷售確定爐管相關(guān)事宜。

 

射頻電源:

image.png 

真空系統(tǒng):

•·采用TRP-12的雙旋真空泵;

• KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

真空度可達(dá)10-2Torr

供氣系統(tǒng)(可選):

客戶可選購四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%;

流量范圍:

image.png 

電壓:208-240V, AC, 50/60Hz

氣體進(jìn)出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;

不銹鋼針閥用于手動控制氣體進(jìn)出;

• PLC觸摸屏可以簡便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。

產(chǎn)品尺寸和重量:

爐體尺寸: 550mm L'380mm W'520mm H

爐體下端移動柜:1800mm L'600mm W'600mm H

凈重:100 kg

運(yùn)輸重量:550 kg

承諾:

一年保質(zhì)期,終身維護(hù),不包括爐管,硅膠密封圈和加熱元件


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