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上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司

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小型-等離子清洗機(jī)

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào):PCE-6

品       牌:其他品牌

廠商性質(zhì):代理商

所  在  地:上海市

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更新時(shí)間:2025-03-13 11:44:32瀏覽次數(shù):2737次

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產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 面議
儀器種類 通用型 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池
PCE-6小型等離子清洗機(jī)的等離子腔體為 Ø160mm×190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率為3.0MHz(1%),輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機(jī)主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等),對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。PCE-6小型等離子清洗機(jī)體積小,占用的空間少,
    PCE-6小型等離子清洗機(jī)的等離子腔體為Ø160mm×190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率為3.0MHz(1%),輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機(jī)主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等),對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。PCE-6小型等離子清洗機(jī)體積小,占用的空間少,可有效節(jié)約實(shí)驗(yàn)室空間。PCE-6小型等離子清洗機(jī)配有一個(gè)雙旋真空泵,可對(duì)腔體進(jìn)行抽真空,同時(shí)通入氬氣等氣體,適用于對(duì)易氧化的物品的清洗。1、通過控制面板的按鍵及開關(guān),可控制調(diào)節(jié)射頻功率、真空泵的開閉、清洗時(shí)間。

    2、時(shí)間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上。

    3、設(shè)有一個(gè)三通閥,可精確控制進(jìn)氣流量,以及大氣流清洗腔體,進(jìn)氣接口為6mm卡套接口。

    4、選用大功率射頻電源設(shè)備可進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化實(shí)驗(yàn)。

產(chǎn)品名稱 PCE-6小型等離子清洗機(jī)
產(chǎn)品型號(hào) PCE-6
主要參數(shù) 1、電源:AC220V  50/60Hz
2、輸出功率:7.2W、10.2W、29.6W
3、真空泵功率:<500W
4、總功率:<600W
5、射頻頻率:3.0MHz,功率3檔可手動(dòng)調(diào)節(jié)
6、等離子腔體:高純石英腔體Ø160mm×190mm,采用鋁制折疊式法蘭進(jìn)行密封,法蘭上設(shè)有Ø45mm的觀察窗
7、真空泵:120L/min,直連式雙旋真空泵
8、極限真空度:50mtorr
9、通入氣體:可通入多種氣體來產(chǎn)生等離子,如N2、Ar、H2、O2、Air和混合氣體等(根據(jù)材料性質(zhì)選定)
清洗及蝕刻
產(chǎn)品規(guī)格 尺寸:400mm×300mm×300mm
重量:10.2kg
可選配件 1、2"-6"石英舟(盛放基片)
2、2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng)

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小型-等離子清洗機(jī)

型號(hào):PCE-6 參考價(jià): ¥面議
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