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四探針電阻測試儀

四探針方塊電阻測試儀 軟件可以由電腦操控，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動(dòng)生成報(bào)表；本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，

同時(shí)顯示液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度  四探針方塊電阻測試儀

四探針電阻測試儀技術(shù)指標(biāo)

1.方塊電阻范圍：10^-4～2×10³Ω/□

2.電阻率范圍：10^-5～2×10⁴Ω-cm

3.測試電流范圍：10μA，100μA，1mA，10mA，100 mA

4.電流精度：±0.2%讀數(shù)

5.電阻精度：≤0.3%

6.顯示讀數(shù)：液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率

7.測試方式: 普通單電測量

四探針電阻測試儀技術(shù)指標(biāo)描述：

采用范德堡測量原理能解決樣品因幾何尺寸、邊界效應(yīng)、探針不等距和機(jī)械游移等外部因素對測量結(jié)果的影響及誤差，提供通訊接口，PC軟件數(shù)據(jù)處理及數(shù)據(jù)分析.中文或英文語言版本.

二.參照標(biāo)準(zhǔn)：

硅片電阻率測量的標(biāo)準(zhǔn)（ASTM F84）及國家標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)制造；GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》.

三.適用范圍：

適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗(yàn)和分析半導(dǎo)體材料質(zhì)量的工具；液晶顯示，自動(dòng)測量和系數(shù)補(bǔ)償，并帶有溫度補(bǔ)償功能，自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程；采用AD芯片控制，恒流輸出，選配：PC軟件，保存和打印數(shù)據(jù)，生成報(bào)表