2022/09/13
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四探針測(cè)試儀
1. 四探針組合雙電測(cè)量方法
2. 液晶顯示，自動(dòng)測(cè)量，自動(dòng)量程，自動(dòng)系數(shù)補(bǔ)償.
3. 集成電路系統(tǒng)、恒流輸出.
4. 選配：PC軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)管理和處理.
5. 提供中文或英文兩種語(yǔ)言操作界面選擇
參照標(biāo)準(zhǔn)：
1.硅片電阻率測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)（ASTM F84）.
2.GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測(cè)定方法》.
3.GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流兩探針法》.
4.GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流四探針法》.
雙電組合測(cè)試方法：
利用電流探針、電壓探針的變換，進(jìn)行兩次電測(cè)量，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析，解決樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響，適用于斜置式四探針對(duì)于微區(qū)的測(cè)試。
