橢偏儀是一種用于探測薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測量儀器。
這次帶來了bruker的FilmTek 6000 PAR-SE、FilmTek 2000M TSV、FilmTek CD、FilmTek 2000 PAR-SE四個型號。
Bruker橢偏儀可以滿足多種前沿器件制造技術(shù)相關(guān)的需求。可獨立測量薄膜厚度和折射率,顯著提高其對薄膜變化的靈敏度,尤其是多層堆疊中的變化。
而且應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,可應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、MEMS、通訊、數(shù)據(jù)存儲、光學(xué)鍍膜、平板顯示器、科學(xué)研究、物理、化學(xué)、生物、醫(yī)藥等等多種范圍。
因為具有快速、實時優(yōu)化功能的專有衍射軟件。,可以輕松修改以滿足研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境中的客戶需求。
Bruker橢偏儀在上海爾迪儀器科技有限公司有售,有需要可聯(lián)系我司。
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