FTIR傅里葉紅外在硅材料分析中的應(yīng)用

用于超高靈敏度硅材料質(zhì)量控制分析的分析儀

CryoSAS 是一款低溫硅材料分析儀，可用于太陽(yáng) 能和電子硅行業(yè)的超高靈敏度質(zhì)量控制。它可以同時(shí)定量分析碳、氧以及淺層雜質(zhì)（如硼、磷、砷等）。

根據(jù)ASTM/SEMI標(biāo) 準(zhǔn)，CryoSAS操作簡(jiǎn)便，無(wú)需液氦等制冷劑。相比于傳統(tǒng)的濕 化學(xué)分析法，CryoSAS更為快速、靈敏，并且對(duì)樣品沒(méi)有任何 損害。

• ·對(duì)單晶硅中所含的第三、五族雜質(zhì)（硼、磷、砷、鋁、鎵、銻） 的定量分析，檢出限達(dá)ppta量級(jí)。

• ·多晶或單晶硅中代位碳的定量分析，檢出限達(dá)ppba量級(jí)。 

• ·多晶或單晶硅中間隙氧的定量分析，檢出限達(dá)ppba量級(jí)。 

• ·全自動(dòng)檢測(cè)流程，自動(dòng)分析數(shù)據(jù)、自動(dòng)生成檢測(cè)報(bào)告。

用于硅材料質(zhì)量控制的低溫光致發(fā)光實(shí)驗(yàn)

根據(jù)ASTM/SEMI MF1389標(biāo)準(zhǔn)，低溫近紅外光致發(fā)光（PL）實(shí)驗(yàn)可以用于單晶硅中淺層雜質(zhì)（如硼、磷等）的定量分析。

我們將高靈敏度VERTEX 80 傅立葉變換光譜儀和專為硅材料低溫光致發(fā)光實(shí)驗(yàn) 設(shè)計(jì)的低溫恒溫器相結(jié)合，實(shí)現(xiàn)了低檢出限小于1ppta的超高檢出水平。

• 根據(jù) ASTM/SEMI MF1389標(biāo)準(zhǔn)，定量分析單晶硅中的硼、磷和鋁含量。 用CVD方法制備的TCS（三氯硅烷）硅外延層也可進(jìn)行PL實(shí)驗(yàn)，以實(shí)現(xiàn)TCS的質(zhì)量控制。

• 多種附加功能，如自動(dòng)控制恒溫器制冷、專用的PL硅材料QC軟件、標(biāo)準(zhǔn)建模樣品和第二個(gè)激 發(fā)激光。