掃描探針顯微鏡（Scanning Probe Microscope，SPM）是掃描隧道顯微鏡及在掃描隧道顯微鏡的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的各種新型探針顯微鏡（原子力顯微鏡AFM,激光力顯微鏡LFM，磁力顯微鏡MFM等等）的統(tǒng)稱，是國際上近年發(fā)展起來的表面分析儀器，是綜合運用光電子技術(shù)、激光技術(shù)、微弱信號檢測技術(shù)、精密機械設(shè)計和加工、自動控制技術(shù)、數(shù)字信號處理技術(shù)、應(yīng)用光學(xué)技術(shù)、計算機高速采集和控制及高分辨圖形處理技術(shù)等現(xiàn)代科技成果的光、機、電一體化的高科技產(chǎn)品。這種新型的顯微工具與以往的各種顯微鏡和分析儀器相比有著明顯的優(yōu)勢：
1、SPM具有高分辨率。它可以輕易的“看到”原子，這是一般顯微鏡甚至電子顯微鏡難以達到的。
2、SPM得到的是實時的、真實的樣品表面的高分辨率圖像，是真正看到了原子。不同于某些分析儀器是通過間接的或計算的方法來推算樣品的表面結(jié)構(gòu)。
3、SPM的使用環(huán)境寬松。電子顯微鏡等儀器對工作環(huán)境要求比較苛刻，樣品必須安放在高真空條件下才能進行測試。而SPM既可以在真空中工作，又可以在大氣中、低溫、常溫、高溫，甚至在溶液中使用。因此SPM適用于各種工作環(huán)境下的科學(xué)實驗。
與其它表面分析技術(shù)相比，SPM所具有的優(yōu)點：
（1） 具有原子級高分辨率。STM在平行和垂直于樣品表面方向的分辨率分別可達0.1nm和0.01nm，即可分辨出單個原子。
（2） 可實時地得到在實空間中表面的三維圖像，可用于具有周期性或不具備周期性的表面結(jié)構(gòu)研究，這種可實施觀測的性能可用于表面擴散等動態(tài)過程的研究。
（3） 可以觀察單個原子層的局部表面結(jié)構(gòu)，而不是個體像或整個表面的平均性質(zhì)，因而可直接觀察到表面缺陷、表面重構(gòu)、表面吸附體的形態(tài)和位置，以及由吸附體引起的表面重構(gòu)等。
（4） 可在真空、大氣、常溫等不同環(huán)境下工作，甚至可將樣品浸在水和其它溶液中，不需要特別的制樣技術(shù)，并且探測過程對樣品無損傷。這些特點特別適用于研究生物樣品和對不同實驗條件下對樣品表面的評價，例如對于多相催化機理、超導(dǎo)機制、電化學(xué)反應(yīng)過程中電極表面變化的監(jiān)測等。
（5） 配合掃描隧道譜STS（Scanning Tunneling Spectroscopy）可以得到有關(guān)表面電子結(jié)構(gòu)的信息，例如表面不同層次的態(tài)密度、表面電子阱、表面勢壘的變化和能隙結(jié)構(gòu)等。
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