一、臺階樣板
該類樣板主要用來校準臺階儀、光學輪廓儀、原子力顯微鏡等各種臺階高度測量儀器。
臺階高度范圍：10nm～100μm；
臺階區(qū)域表面粗糙度Sa：優(yōu)于5.0nm；
臺階區(qū)域均勻性：優(yōu)于15nm；
臺階樣片尺寸：10mm×10mm。
序號 | 臺階標稱高度 |
1 | 10nm |
2 | 20nm |
3 | 30nm |
4 | 50nm |
5 | 100nm |
6 | 200nm |
7 | 500nm |
8 | 1000nm |
9 | 2μm |
10 | 5μm |
11 | 10μm |
12 | 20μm |
13 | 50μm |
14 | 100μm |
二、光柵樣板
該類樣板主要用來校準掃描電子顯微鏡、原子力顯微鏡等各種線條尺寸測量儀器。
樣片類型：一維光柵、二維柵格
區(qū)域均勻性：優(yōu)于15nm；
尺寸范圍：100nm～10μm（一維光柵）、2μm～10μm（二維柵格）
線條直線度：優(yōu)于10nm；
類型 | 具體結(jié)構(gòu) |
復(fù)合型光柵樣板 | 包含一維結(jié)構(gòu)：100nm、200nm、500nm、1μm、2μm、5μm、10μm； 二維結(jié)構(gòu)：2μm、5μm、10μm |
微米級光柵樣板 | 包含一維、二維光柵結(jié)構(gòu) 結(jié)構(gòu)尺寸：2μm、5μm、10μm |
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