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Diener 等離子表面處理儀 Bel Jar35
  • Diener 等離子表面處理儀 Bel Jar35
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貨物所在地:上海上海市

更新時間:2024-08-19 09:18:13

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Diener 等離子表面處理儀 Bel Jar35備件套件、壓力計、腐蝕性氣體設(shè)計結(jié)構(gòu)、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、法拉第籠、等離子體聚合配件、測試墨水、氧氣發(fā)生器、慢速通風(fēng)裝置、慢速抽吸裝置、TEM 樣品架法蘭、維護(hù)/服務(wù)、當(dāng)?shù)卣Z言的文件、現(xiàn)場安裝,包括培訓(xùn)。

Diener 等離子表面處理儀 Bel Jar35

技術(shù)數(shù)據(jù):


·外殼約寬 560 mm x 高 1640 mm x 深 620 mm

·腔室容積:約 35 升

·供電電源:230 V / 16 A

·氣體供給:3 個質(zhì)量流量控制器 (MFC)

·真空腔室: 硼硅玻璃材質(zhì)的玻璃罩 ∅ 315 mm x 高 500 mm

·濺射源: 1 個濺射源 2" - 3" + 擋板(針對反應(yīng)性過程,可選配排煙管和進(jìn)氣口)

·基材支架: ∅ 140 mm(可選擇旋轉(zhuǎn)型、基材加熱裝置、基材冷卻裝置), 可切換為等離子預(yù)處理的電極(清洗、活化、蝕刻)

·控制系統(tǒng):PC-控制系統(tǒng) (Microsoft Windows XPe)

·壓力測量裝置: Pirani

·真空泵: 不同規(guī)格,來自不同制造商(根據(jù)需要配備活性炭過濾器)


其他選項:

·備件套件、壓力計、腐蝕性氣體設(shè)計結(jié)構(gòu)、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、法拉第籠、等離子體聚合配件、測試墨水、氧氣發(fā)生器、慢速通風(fēng)裝置、慢速抽吸裝置、TEM 樣品架法蘭、維護(hù)/服務(wù)、當(dāng)?shù)卣Z言的文件、現(xiàn)場安裝,包括培訓(xùn)。


其它選項功能

·發(fā)生器頻率:    40 kHz:功率 0 - 500 W

·3.56 MHz:功率 0 - 300 W

·直流偏置電源或單極性脈沖

·功率最大為 300 W 電壓最大為 600 V DC

·發(fā)生器為 0 - 100% 無級可調(diào)型

Diener 等離子表面處理儀 Bel Jar35 技術(shù)數(shù)據(jù):

  • 外殼約寬 560 mm x 1640 mm x 620 mm

  • 腔室容積:約 35

  • 供電電源:230 V / 16 A

  • 氣體供給:3 個質(zhì)量流量控制器 (MFC)

  • 真空腔室: 硼硅玻璃材質(zhì)的玻璃罩 315 mm x 500 mm

  • 濺射源: 1 個濺射源 2" - 3" + 擋板(針對反應(yīng)性過程,可選配排煙管和進(jìn)氣口)

  • 基材支架: 140 mm(可選擇旋轉(zhuǎn)型、基材加熱裝置、基材冷卻裝置), 可切換為等離子預(yù)處理的電極(清洗、活化、蝕刻)

  • 控制系統(tǒng):PC-控制系統(tǒng) (Microsoft Windows XPe)

  • 壓力測量裝置: Pirani

  • 真空泵: 不同規(guī)格,來自不同制造商(根據(jù)需要配備活性炭過濾器)

  • 其他選項: 備件套件、壓力計、腐蝕性氣體設(shè)計結(jié)構(gòu)、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、法拉第籠、等離子體聚合配件、測試墨水、氧氣發(fā)生器、慢速通風(fēng)裝置、慢速抽吸裝置、TEM 樣品架法蘭、維護(hù)/服務(wù)、當(dāng)?shù)卣Z言的文件、現(xiàn)場安裝,包括培訓(xùn)。

  • 其它選項功能

  • 發(fā)生器頻率:    

  • 40 kHz:功率 0 - 500 W

  • 13.56 MHz:功率 0 - 300 W

  • 直流偏置電源或單極性脈沖

  • 功率最大為 300 W 電壓最大為 600 V DC

  • 發(fā)生器為 0 - 100% 無級可調(diào)型


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