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詳細(xì)介紹
KS-41B 理音RION液體粒子計(jì)數(shù)器
フォトレジスト溶液やSOG中の粒子を0.1μmから測(cè)定可能
- 多點(diǎn)監(jiān)視システムに接続可能
| 光學(xué)系方式 | 側(cè)方散亂方式 |
|---|---|
| 光源 | 半導(dǎo)體レーザ勵(lì)起固體レーザ（波長532nm、定格出力500mW） |
| 接液部材質(zhì) | 合成石英、PFA |
| 粒徑區(qū)分 | 0.1μm～0.5μmの範(fàn)囲で10段階（オプションで0.07μmから対応、純水などの透明な液體の場(chǎng)合） 出荷時(shí)：0.1μm以上、0.15μm以上、0.2μm以上、0.3μm以上、0.5μm以上の5段階 |
| 定格流量 | 5mL/min |
| zui大粒子個(gè)數(shù)濃度 | 9,600個(gè)/mL（計(jì)數(shù)損失10%以內(nèi)） |
| 電源 | DC12V（KE-40B1より供給） |
| 大きさ | 約164（H）×464（W）×305（D）mm（突起物を除く） |
| 重さ | 約12.5kg |