Thermo Scientifc ™ Scios ™ 2 DualBeam ™ 系統(tǒng)是一款超高分辨率分析系統(tǒng)，可為類型的樣品（包括磁性和不導(dǎo)電材料）提供出色的樣品制備和三維表征性能。Scios 2 DualBeam 系統(tǒng)創(chuàng)新性的功能設(shè)計(jì)，優(yōu)化了其樣品處理能力、分析精度和易用性，是滿足科學(xué)家和工程師在學(xué)術(shù)、政府和工業(yè)研究環(huán)境中進(jìn)行高級(jí)研究和分析的理想解決方案。

Scios 2 DualBeam 系統(tǒng)的技術(shù)創(chuàng)新，結(jié)合易于使用、面的 ThermoScientific AutoTEM ™ 4軟件（可選）和專業(yè)的應(yīng)用知識(shí)，可快速輕松地定位制備各類材料的高分辨S/TEM樣品。 為了獲得高質(zhì)量的結(jié)果，需要使用低能離子進(jìn)行精拋，以大限度地減少樣品的表面損傷。 Thermo Scientific Sidewinder ™ HT聚焦離子束（FIB）鏡筒不僅可以在高電壓下提供高分辨率成像和刻蝕，而且具有良好的低電壓性能，可以制備高質(zhì)量的TEM薄片。ScientificTrinity ™ 檢測(cè)技術(shù)可同時(shí)采集角度和能量選擇性SE和BSE圖像。無論是將樣品豎直或傾斜放置進(jìn)行觀察，亦或者是觀察樣品截面，都可快速獲取詳細(xì)的納米級(jí)信息。可選配的透鏡下探測(cè)器和電子束減速模式可確?？焖?、輕松地同時(shí)采集所有信號(hào)，以顯示材料表面或截面中的小特征。依托*的NICol鏡筒設(shè)計(jì)和全自動(dòng)合軸功能，用戶可獲得快速、準(zhǔn)確且可重復(fù)的結(jié)果。

 

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 使用 Sidewinder HT離子鏡筒快速、簡(jiǎn)便地制備高質(zhì)量、定位TEM 和原子探針樣品。

• Thermo Scientific NICol ™ 電子鏡筒可進(jìn)行超高分辨率成像，滿足泛類型樣品（包括磁性和不導(dǎo)電材料）成像需求。

• 各類集成化鏡筒內(nèi)及極靴下探測(cè)器，采集優(yōu)質(zhì)、銳利、無荷電圖像，提供完整的樣品信息。

• 可選AS&V4軟件，精確定位感興趣區(qū)域，獲取優(yōu)質(zhì)、多模態(tài)內(nèi)部和三維信息。

• 高度靈活的110 mm樣品臺(tái)和內(nèi)置的Thermo Scientific Nav- Cam ™ 相機(jī)實(shí)現(xiàn)精確樣品導(dǎo)航。

• 的DCFI、漂移抑制技術(shù)和Thermo Scientific SmartScan ™等模式實(shí)現(xiàn)無偽影成像和圖形加工。

• 靈活的 DualBeam 配置，優(yōu)化解決方案滿足特定應(yīng)用需求。

 

參數(shù)

電子束

• 電子束流范圍：1pA–400nA

• 著陸能量范圍： 20* eV - 30 keV

• 加速電壓范圍：200 V - 30 kV

• 大水平視場(chǎng)寬度：7mm工作距離下為3.0mm，60mm工作距離下為7.0mm

• 導(dǎo)航蒙太奇功能可額外增大視場(chǎng)寬度

離子光學(xué)

• 大束流Sidewinder離子鏡筒

• 加速電壓范圍：500 V - 30 kV

• 離子束流范圍：1.5pA–65nA

• 15 孔光闌

• 標(biāo)配不導(dǎo)電樣品漂移抑制模式

• 離子源壽命至少1,000小時(shí)

• 離子束分辨率：30 kV下3.0 nm（采用選邊法）

探測(cè)器

• Trinity 探測(cè)系統(tǒng)（透鏡內(nèi)和鏡筒內(nèi)）

 − T1 分割式透鏡內(nèi)低位探測(cè)器

 − T2 透鏡內(nèi)高位探測(cè)器

 − T3可伸縮鏡筒內(nèi)探測(cè)器*

 − 可同步檢測(cè)多達(dá)四種信號(hào)

• ETD–Everhart-Thornley 二次電子探測(cè)器

• ICE探測(cè)器 - 高性能離子轉(zhuǎn)換和電子探測(cè)器，用于采集二次電子和二次離子*

• DBS–可伸縮式低電壓、高襯度、分割式固態(tài)背散射電子探測(cè)器*

• STEM 3+–可伸縮分割式探測(cè)器(BF、DF、HAADF) *

• 樣品室紅外CCD相機(jī)，用于樣品臺(tái)高度觀察

• Nav-Cam ™：樣品室內(nèi)彩色光學(xué)相機(jī)，用于樣品導(dǎo)航*

樣品臺(tái)和樣品

• 靈活五軸電動(dòng)樣品臺(tái)：

 -XY范圍：110mm

 - Z范圍：65mm

• 旋轉(zhuǎn)：360°（連續(xù)）

• 傾斜范圍：-15°到+90°

• XY重復(fù)精度：3μm

• 大樣品高度：與優(yōu)中心點(diǎn)間隔85mm

• 大樣品質(zhì)量（0°傾斜）：2kg（包括樣品托）

• 大樣品尺寸：可沿X、Y軸*旋轉(zhuǎn)時(shí)直徑為110mm（若樣品超出此限值，則樣品臺(tái)行程和旋轉(zhuǎn)會(huì)受限）

• 同心旋轉(zhuǎn)和傾斜

• *無油的真空系統(tǒng)

• 樣品倉(cāng)真空（高真空）：< 6.3 x 10 -6 mbar（72小時(shí)抽氣后）

• 抽氣時(shí)間：< 3.5 分鐘

• 可選低真空模式：樣品倉(cāng)真空可達(dá)500Pa

產(chǎn)品料號(hào)	產(chǎn)品貨號(hào)	*產(chǎn)品名稱	*產(chǎn)品規(guī)格
TFE000048	TFE000048	Scios 2 DualBeam雙束電鏡	Scios 2 DualBeam