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高純器分析儀具有在線快速測量的能力

閱讀:163      發(fā)布時(shí)間:2024-12-27
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  高純器分析儀主要基于光電子發(fā)射原理,利用高分辨率電子能譜技術(shù)來研究材料表面的電子狀態(tài)。當(dāng)一個(gè)光子擊中樣品時(shí),會(huì)產(chǎn)生光電子釋放出來,這些光電子的能量和數(shù)量可以表征樣品表面的電子結(jié)構(gòu)。此外,還采用了陽離子大氣壓離子化質(zhì)譜儀(API-MS)技術(shù),該技術(shù)通過電暈放電產(chǎn)生電子流,電子與離子源中的樣氣發(fā)生反應(yīng),導(dǎo)致樣氣氣體分子的電離。由于污染物分子在樣氣中濃度很低,它們需要很少的能量就可以產(chǎn)生電離,因此與樣氣離子發(fā)生反應(yīng)的幾率非常高。這種反應(yīng)發(fā)生時(shí),電荷轉(zhuǎn)移至污染物氣體分子,形成再次電離,導(dǎo)致非常高比例的污染物氣體分子被電離。電離的污染物經(jīng)過一系列的減壓透鏡后,進(jìn)入三重四級(jí)桿質(zhì)譜儀進(jìn)行準(zhǔn)確測量。
 
  高純器分析儀特點(diǎn):
 
  高分辨率和靈敏度:具有非常高的分辨率和靈敏度,能夠準(zhǔn)確檢測到不同元素的電子能級(jí)和微小濃度的污染物。其能量分辨率通常達(dá)到10 meV或以下,空間分辨率可達(dá)到亞微米級(jí)別,測量下限可達(dá)到ppt級(jí)別。
 
  快速響應(yīng):高純器分析儀具有快速在線測量的能力,典型測量時(shí)間小于5秒,能夠立即響應(yīng)供氣的波動(dòng)狀況,滿足實(shí)時(shí)監(jiān)測的需求。
 
  多分析器集成:集成了多分析器分析方案,提供了污染物的快速檢測能力,同時(shí)支持多流路分析,提高了分析效率和準(zhǔn)確性。
 
  備份能力:在單個(gè)大氣壓離子化分析器(API)在維護(hù)時(shí),允許每一臺(tái)大氣壓離子化質(zhì)譜儀(APIMS)支持多流路分析,確保了分析的連續(xù)性和可靠性。
 
  工業(yè)通訊協(xié)議支持:支持多種標(biāo)準(zhǔn)化工業(yè)通訊協(xié)議(如OPC、DDE、Modbus、Siemens 3964R、PROFIBUS等),方便與工廠控制和數(shù)據(jù)集中系統(tǒng)進(jìn)行集成和通信。
 
  安全性高:部分高純器分析儀配置有氫安全系統(tǒng),能夠在氫氣泄漏時(shí)安全關(guān)閉質(zhì)譜儀,確保操作安全。
 
  智能化和自動(dòng)化:高純器分析儀通常采用智能化的控制系統(tǒng)和自動(dòng)化的操作流程,能夠自動(dòng)校準(zhǔn)、自動(dòng)切換流路、自動(dòng)采集和分析數(shù)據(jù),降低了操作難度和人工誤差。
高純器分析儀

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