基于X射線熒光能譜法， 全反射X射線熒光(TXRF)采用毫弧度的臨界角，由于采用此種近于切線方向的入射角，原級(jí)X射線光束幾乎全部被反射，照射在樣品表面后，可以很大程度上避免樣品載體吸收光束和減小散射的發(fā)生，同時(shí)減小了載體的背景和噪聲。
這種技術(shù)特點(diǎn)，使得全反射X射線熒光(TXRF)與其他傳統(tǒng)元素分析技術(shù)相比，有著諸多優(yōu)勢(shì)，見下表：
意大利GNR公司是一家老牌的歐洲光譜儀生產(chǎn)商，其X射線產(chǎn)品線誕生于1966年，經(jīng)過(guò)半個(gè)多世紀(jì)的開發(fā)和研究，該產(chǎn)品線已經(jīng)擁有眾多型號(hào)滿足多個(gè)行業(yè)的分析需求。
X射線衍射儀（XRD）可測(cè)試粉末、薄膜等樣品的晶體結(jié)構(gòu)等指標(biāo)，多應(yīng)用于分子結(jié)構(gòu)分析及金屬相變研究；而全反射X熒光光譜儀（TXRF）的檢測(cè)限已達(dá)到皮克級(jí)別，其非破壞性分析特點(diǎn)應(yīng)用在痕量元素分析中，涉及環(huán)境、醫(yī)藥、半導(dǎo)體、核工業(yè)、石油化工等行業(yè)；為迎合工業(yè)市場(chǎng)需求而設(shè)計(jì)制造的專用殘余應(yīng)力分析儀、殘余奧氏體分析儀，近年來(lái)被廣泛應(yīng)用在材料檢測(cè)領(lǐng)域，其操作的便捷性頗受行業(yè)青睞。
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