真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過程所需的真空，同時完成被檢件的抽空和氦氣的引入。真空系統(tǒng)一般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計組成組成。按照真空系統(tǒng)的不同結(jié)構(gòu)，檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴(kuò)散兩種。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的氦質(zhì)譜檢漏儀，該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮氣首先到達(dá)質(zhì)譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度，但是會對質(zhì)譜管有污染。逆擴(kuò)散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比，被檢件只與低真空相通，因此只需將被檢工件抽至低真空就能進(jìn)行檢漏，氦氣是逆擴(kuò)散到質(zhì)譜管，不會對系統(tǒng)有污染，因此被廣泛采用，已成為市場的主流的產(chǎn)品。

機(jī)械泵的工作方式不一樣，分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會有油霧排出，污染工作環(huán)境，干泵沒有油霧排出對工作環(huán)境沒有影響。在半導(dǎo)體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。

泉州鋒云檢測設(shè)備有限公司 是一家集科研、設(shè)計、生產(chǎn)、維修、銷售和系統(tǒng)集成為一體的高新技術(shù)工廠，是已在各大地區(qū)和網(wǎng)絡(luò)平臺有核心分銷商。憑借在自動化領(lǐng)域的專業(yè)水平和成熟的技術(shù)，在氣密性檢測儀，密封性檢測設(shè)備領(lǐng)域迅速崛起。 依靠科技求發(fā)展，不斷為用戶提供滿意的高科技產(chǎn)品，是我們始終不變的追求。在充分引進(jìn)吸收技術(shù)的基礎(chǔ)上，已成功開發(fā)出全密封性檢測儀，現(xiàn)有分低壓、中壓、高壓、負(fù)壓、正壓系列產(chǎn)品。檢測模式有壓降式、直壓式、差壓式、抽真空等治具方案，并已廣泛應(yīng)用于汽車、化工、工件、供水、電子、機(jī)械領(lǐng)域氣密性檢測儀、氣密性檢漏儀 、防水測試儀、密封性檢漏設(shè)備高精度氣密性檢測設(shè)備。