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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
| 品牌： | 英國(guó)泰勒霍普森 | 型號(hào)： | Talysurf CCI |
| 測(cè)量精度： | 0.01 | 外形尺寸： | 500*600（mm） |
| 重量： | 50（kg） | 適用范圍： | 0-1 |
（1） 類型： CCI 干涉（相干相關(guān)干涉）
（2） 分辨率： 0.1 A
（3） 測(cè)量點(diǎn)數(shù)： 1,048,576 （ 1024 x 1024 點(diǎn)陣 ）
更詳細(xì)參數(shù)和有關(guān)應(yīng)用問(wèn)題請(qǐng)垂詢辦事處產(chǎn)品負(fù)責(zé)人。
主要特點(diǎn)
•*的相干相關(guān)算法
•0.01nm分辨率
•10-20秒測(cè)量時(shí)間
•RMS重復(fù)性：0.03A
儀器介紹
TalysurfCCI三維非接觸形貌儀采用CCI（*技術(shù)的相干相關(guān)算法）干涉原理，可高精度測(cè)量表面形貌、表面粗糙度及關(guān)鍵尺寸，并計(jì)算關(guān)鍵部位的面積和體積。主要應(yīng)用于數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器件，半導(dǎo)體器件，光學(xué)加工以及MEMS/MOEMS技術(shù)以及材料分析領(lǐng)域。
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北京東方安諾生化科技有限公司
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