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關(guān)于高溫壓痕儀的應(yīng)用和特點(diǎn)，以下有詳細(xì)說明
高溫壓痕儀是一種用于物理學(xué)領(lǐng)域的物理性能測試儀器，它主要用于測量納米尺度的硬度與彈性模量，可以測定材料的接觸剛度、蠕變、彈性功、塑性功、斷裂韌性、存儲(chǔ)模量及損耗模量等特性。
主要應(yīng)用：
1、半導(dǎo)體技術(shù)：鈍化層、鍍金屬、Bond Pads；
2、存儲(chǔ)材料：磁盤的保護(hù)層、磁盤基底上的磁性涂層、CD的保護(hù)層；
3、光學(xué)組件：接觸鏡頭、光纖、光學(xué)刮擦保護(hù)層；
4、金屬蒸鍍層；防磨損涂層：TiN，TiC，DLC，切割工具；
5、藥理學(xué)：藥片、植入材料、生物組織；
6、工程學(xué)：油漆涂料、橡膠、觸摸屏、MEMS等行業(yè)。
高溫壓痕儀的特點(diǎn)：
1、采用壓電致動(dòng)器的載荷裝置保證測量的精確度；
2、壓電致動(dòng)器作為壓痕測試的精密驅(qū)動(dòng)加載，可大行程壓痕驅(qū)動(dòng)；
3、壓痕測試模塊具有良好的重復(fù)性和測試精度；
4、載荷加載范圍可實(shí)現(xiàn)1N～200N載荷的加載；
5、溫度加載范圍可實(shí)現(xiàn)0℃～1200℃的變溫加載；
6、溫度控制精度可達(dá)到±1℃；
7、使用高溫爐給壓頭和試件同時(shí)加熱，保證二者溫度盡可能一致，減小溫度漂移對位移測量的影響；
8、配備控制主機(jī)，專用檢測控制系統(tǒng)與配套分析處理軟件；
9、軟件包括測試過程中實(shí)時(shí)測量載荷和位移值、生成載荷位移曲線等；
10、可測量壓入載荷-壓入深度曲線、殘余壓深、最大壓深、材料硬度、彈性模量、斷裂韌性、接觸剛度等。