精品国产亚洲国产亚洲,久热中文在线观看精品视频,成人三级av黄色按摩,亚洲AV无码乱码国产麻豆

| 注冊| 產(chǎn)品展廳| 收藏該商鋪

行業(yè)產(chǎn)品

當(dāng)前位置:
江蘇新高科分析儀器有限公司>>技術(shù)文章>>采用濕式蝕刻工藝提高LED光提取效率分析

采用濕式蝕刻工藝提高LED光提取效率分析

閱讀:405        發(fā)布時(shí)間:2019-10-30

近幾年來III族氮化物(III-Nitride)高亮度發(fā)光二極體(High Brightness Light Emission Diode; HB-LED)深獲廣大重視,目前廣泛應(yīng)用于交通號誌、LCD背光源及各種照明使用上?;旧?,GaN LED是以磊晶(Epitaxial)方式生長在藍(lán)寶石基板(Sapphire Substrate)上,由于磊晶GaN與底部藍(lán)寶石基板的晶格常數(shù)(Lattice Constant)及熱膨脹係數(shù)(Coefficient of Thermo Expansion; CTE)相差極大,所以會產(chǎn)生高密度線差排(Thread Dislocation)達(dá)108~1010 / cm2,此種高密度線差排則會限制了GaN LED的發(fā)光效率。 

此外,在HB-LED結(jié)構(gòu)中,除了主動層(Active Region)及其他層會吸收光之外,另外必須注意的就是半導(dǎo)體的高折射係數(shù)(High Refractive Index),這將使得LED所產(chǎn)生的光受到局限(Trapped Light)。以圖1來進(jìn)行說明,從主動區(qū)所發(fā)射的光線在到達(dá)半導(dǎo)體與周圍空氣之界面時(shí),如果光的入射角大于逃逸角錐(Escape Cone)之臨界角(Critical Angle;αc)時(shí),則會產(chǎn)生全內(nèi)反射(Total Internal Reflection);對于高折射係數(shù)之半導(dǎo)體而言,其臨界角都非常小,當(dāng)折射係數(shù)為3.3時(shí),其全內(nèi)反射角則只有17o,所以大部份從主動區(qū)所發(fā)射的光線,將被局限(Trapped)于半導(dǎo)體內(nèi)部,這種被局限的光有可能會被較厚的基板所吸收。此外,由于基板之電子與電洞對,會因基板品質(zhì)不良或效率較低,導(dǎo)致有較大機(jī)率產(chǎn)生非輻射復(fù)回(Recombine Non-Radiatively),進(jìn)而降低LED效率。所以如何從半導(dǎo)體之主動區(qū)萃取光源,以進(jìn)而增加光萃取效率(Light Extraction Efficiency),乃成為各LED制造商重要的努力目標(biāo)。 

目前有兩種方法可增加LED光提取效率: 

(1)種方法是在LED磊晶前,進(jìn)行藍(lán)寶石基板的蝕刻圖形化(Pattern Sapphire Substrate; PSS); 

(2)第二種方法是在LED磊晶后,進(jìn)行藍(lán)寶石基板的側(cè)邊蝕刻(Sapphire Sidewall Etching; SSE),以及基板背面粗糙化(Sapphire Backside Roughing; SBR)。本文將參考相關(guān)文獻(xiàn)[1~6],探討如何利用高溫磷酸濕式化學(xué)蝕刻技術(shù),來達(dá)到增加LED光提取效率之目的。 

此外,針對LED生產(chǎn)線之高產(chǎn)能與高良率需求時(shí),在工藝系統(tǒng)設(shè)計(jì)制作上必須考慮到哪些因數(shù),亦將進(jìn)行詳細(xì)探討,以期達(dá)到增加LED光提取效率之目的。

如圖1所示,從主動區(qū)所發(fā)射的光線在到達(dá)半導(dǎo)體與周圍空氣之界面時(shí),如果光的入射角大于臨界角(αc)時(shí),則會產(chǎn)生全內(nèi)反射。 

2、磊晶前藍(lán)寶石基板之蝕刻圖形化(PPS)工藝 

藍(lán)寶石基板蝕刻圖形化(PPS)可以有效增加光的萃取效率,因?yàn)榻逵苫灞砻鎺缀螆D形之變化,可以改變LED的散射機(jī)制,或?qū)⑸⑸涔鈱?dǎo)引至LED內(nèi)部,進(jìn)而由逃逸角錐中穿出。目前使用單步驟無光罩乾式蝕刻技術(shù)(Maskless Dry Etching)來加工藍(lán)寶石(Sapphire)基板,雖然可以改善內(nèi)部量子效率(Internal Quantum Efficiency)和光萃取率(Light Extraction Efficiency),然而由于藍(lán)寶石基板表面非常堅(jiān)硬,乾式蝕刻會損傷藍(lán)寶石表面,使得線差排(Thread Dislocation)由基板逐漸延伸到頂端的GaN磊晶層,因而影響到LED之磊晶品質(zhì),所以一般都傾向使用濕式化學(xué)蝕刻方式。有關(guān)藍(lán)寶石基板之濕式化學(xué)蝕刻圖形化,以及LED之前段工藝流程

收藏該商鋪

登錄 后再收藏

提示

您的留言已提交成功!我們將在第一時(shí)間回復(fù)您~
二維碼 意見反饋
在線留言
欧美人与性动交b欧美精品| 裸体午夜一级视频| 2021最新热播国产一区二区| 国产成人精品区在线观看| 色欲色欲色视频综合| 另类亚洲欧美专区第一页| 狠狠色伊人亚洲综合成人| 日日狠狠久久888av| 插到底啊啊啊视频| 色熟妇人妻久久中文字幕| 日本av在线一区二区| 欧美老熟妇又粗又大| 免费看澡美女逼视频看看| 日韩精品诱惑一区?区三区| 国产高清乱码女大生AV| 国产精品午夜小视频观看| 韩国精品视频一区二区在线观看| 日本不卡高清视频在线播放| 亚洲av 又黄又爽十大| 精品少妇一区二区三区中文字幕| 男女真人牲交高潮全过程| 女人被躁到高潮嗷嗷叫小| 亚洲综合无码一区二区丶| 日韩aaa成人免费观看| 小嫩骚逼操死你视频| 色偷偷影音先锋男人av| 欧美巨屌虐无毛骚逼| 男人插女人视频软件| 欧美日韩久久一区二区三区| 潮中文字幕在线观看| 操老骚逼三级黄视频| 国产成人精品免费视频全| 国产一区二区三区免费观在线| a一级毛片免费高清在线| 在线观看日韩欧美| 美女最骚逼逼视频| 高颜值情侣鸡巴插插淫叫| 日本欧美中文字幕| 日韩美女在线视频一区不卡| 欧美男女舔逼舔鸡巴视频| 欧美综合区自拍亚洲综合|