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930系派克parkerUHP隔膜閥產(chǎn)品介紹
930 系列隔膜閥（1-1 / 8英寸的閥體尺寸）可用于各種手動操作和氣動執(zhí)行器操作。它擁有優(yōu)異的可靠性，泄漏完整性和清潔度，使其在UHP半導(dǎo)體行業(yè)中成為理想的應(yīng)用。
派克930系列1-1/8英寸不銹鋼閥體隔膜閥提供優(yōu)異的泄漏完整性，高循環(huán)使用壽命和低顆粒發(fā)生，非常適用
于UHP半導(dǎo)體應(yīng)用。
930系列采用不與過程流體接觸無螺紋或彈簧設(shè)計，可大限度地減少顆粒產(chǎn)生和截留，減少半導(dǎo)體應(yīng)用中*不
可*的工藝污熱，該系列閥門的嚴(yán)格設(shè)計，控制閥座和隔膜應(yīng)力，以提供穩(wěn)定和免維護(hù)的使用壽命。930系列
閥門潤濕部件由特種金屬制成，提供卓*的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥體是內(nèi)部采用電拋光處理的
Vericlean"316l不銹鋼材質(zhì)。Vericean"是派克的UHP級小銹鋼，溫道是高強(qiáng)度鉆具合全材質(zhì)。930系列讓
提供聚三氟氯，烯(PCTFE)，聚國國樹脂(PEEK)和聚酰業(yè)胺(Vespel)材質(zhì)的閥座，口使930代門
與多種工藝流體相兼容。這些材料結(jié)合930系列嚴(yán)格的設(shè)計特點，給予了930系列產(chǎn)品在入口壓力高達(dá)300
psig時的耐腐蝕性和更大循環(huán)使用壽命。
930系列氣動代可以配警限位開關(guān)或接近開關(guān)，用以提供開-關(guān)位置指示，還有多種代體構(gòu)造可選，包括
930Y系列(Y型閥)和SM930系列(面板安裝)。
930系列閥門上內(nèi)部(閥座)密封件和密封外的金屬部件均通過質(zhì)譜儀進(jìn)行氦氣泄露測試，以適應(yīng)在苛刻的
UHP應(yīng)用中，保有其性能和穩(wěn)定性，
市場:
·半導(dǎo)體
·分析實驗室
·制藥
·生物制藥
·航空航天
·工業(yè)
930系派克parkerUHP隔膜閥特點與優(yōu)勢:
·電拋光表面光潔度:5微英寸(Ra)
·高循環(huán)使用壽命(包括耐腐蝕性服務(wù))
，內(nèi)部無彈簧和無螺紋設(shè)計可大限度地減少顆粒產(chǎn)生和氣體截留
，全壓力范圍使用:從真空到300 psig
·內(nèi)部泄漏率:≤1x10-9 scc/sec He
·外部泄漏率:s2x10-10 scc/sec He
，AOP驅(qū)動，額定壓力為75 psig
應(yīng)用:
，腐蝕性氣體和特種氣體
·半導(dǎo)體工具
·工具連接
·燃?xì)夤?/span>
·閥組箱(VMB)
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