德國易福門電容式傳感器*的型號：
KI5019 KI501A KI5023 KI5024 
KI5030 KX5002 KX5004 LI2041 
LI2042 LI2043 LI5041 LI5042 
LI5043 LI5044 LK0024 LK1022 
LK1023 LK1024 LK1222 LK1223 
LK1224 LK3025 LK3122 LK3123 
LK3124 LK7022 LK7023 LK7024 
LK8122 LK8123 LK8124 LL8022  
KG5066 KI0016 KI0017 KI0020 
KI0021 KI0024 KI0040 KI0041 
KI0042 KI0044 KI0048 KI0051 
KI0052 KI0053 KI0202 KI0203 
KI0205 KI0206 KI0207 KI3507 
KI3511 KI3513 KI3514 KI5001 
KI5002 KI5003 KI5006 KI5015 德國易福門電容式傳感器*
IFM電容式傳感器的特點(diǎn)：電容量小，變化更?。≒F級）。理論上，交流電橋可作為易福門電容傳感器的測量電路，但由于電容及變化太小，不易實(shí)現(xiàn)。包括（1）調(diào)頻電路（2）運(yùn)算放大器式電路（3）二極管雙T形交流電橋（4）脈沖寬度調(diào)制電路
調(diào)頻電路特點(diǎn)：
（1）轉(zhuǎn)換電路生成頻率信號，可遠(yuǎn)距離傳輸不受干擾。
（2）具有較高的靈敏度，可以測量高至0.01μm級位移變化量。
（3）但非線性較差，可通過鑒頻器（頻壓轉(zhuǎn)換）轉(zhuǎn)化為電壓信號后，進(jìn)行補(bǔ)償。
運(yùn)算放大器式電路運(yùn)算放大器要求：
易福門電容式傳感器的特點(diǎn)：
（1）解決了單個變極板間距離式IFM電容傳感器的非線性問題
（2）要求Zi及放大倍數(shù)足夠大
（3）為保證儀器精度，還要求電源電壓的幅值和固定電容穩(wěn)定
（4）由于Cx變化小，所以該電路實(shí)現(xiàn)起來困難
（5）輸入阻抗高（避免泄漏）、放大倍數(shù)大（接近理想放大器）
IFM電容式傳感器的優(yōu)勢：
IFM電容式傳感器與電阻式、電感式等傳感器相比有如下一些優(yōu)點(diǎn)：
(1)高阻抗、小功率,因而所需的輸入力很小，輸人能量也很低。易福門電容式傳感器因帶電極板 間靜電引力極小(約幾個10-5 N)，因此所需輸入能量極小，所以特別適宜用來解決輸入能量低的 測量問題，例如測量極低的壓力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很靈敏,分辨力非常髙，能 感受0.001μm甚至更小的位移。
(2)溫度穩(wěn)定性好。傳感器的電容值一般與電極材料無關(guān)，有利于選擇溫度系數(shù)低的材料， 又因本身發(fā)熱極小，對穩(wěn)定性影響甚微。
(3)結(jié)構(gòu)簡單，適應(yīng)性強(qiáng)，待測體是導(dǎo)體或半導(dǎo)體均可,可在惡劣環(huán)境中工作。電容式傳感 器結(jié)構(gòu)簡單,易于制造,可做得非常小巧，以實(shí)現(xiàn)某些特殊的測量;能工作在高低溫、強(qiáng)輻射及強(qiáng) 磁場等惡劣的環(huán)境中，也能對帶有磁性的工件進(jìn)行測量。
(4)動態(tài)響應(yīng)好。由于極板間的靜電引力很小，可動部分做得很小很薄，因此其固有頻率很 高，動態(tài)響應(yīng)時(shí)間短，能在幾兆赫的頻率下工作，特別適合動態(tài)測量，如測量振動、瞬時(shí)壓力等。
(5)可以實(shí)現(xiàn)非接觸測量，具有平均效應(yīng)。例如非接觸測量回轉(zhuǎn)軸的振動或偏心、小型滾珠 軸承的徑向間隙等。當(dāng)采用非接觸測量時(shí),電容式傳感器具有平均效應(yīng)，可以減小工作表面粗糙 等對測量的影響。