美國MKS控制閥
MKS控制閥（Control valve）由兩個主要的組合件構(gòu)成：閥體組合件和執(zhí)行機構(gòu)組合件（或執(zhí)行機構(gòu)系統(tǒng)），分為四大系列：單座系列控制閥、雙座系列控制閥、套筒系列控制閥和自力式系列控制閥。四種類型閥門的變種可導(dǎo)致許許多多不同的可應(yīng)用的結(jié)構(gòu)，每種結(jié)構(gòu)有其特殊的應(yīng)用、特點、優(yōu)點和缺點。雖然某些控制閥較其他閥門有較廣的應(yīng)用工況，但控制閥并不能適用所有的工況，以共同構(gòu)建增強性能、降低成本的*解決方案。
MKS調(diào)節(jié)閥的閥體種類很多，常用的有直通單座、直通雙座、角形、隔膜、小流量、三通、偏心旋轉(zhuǎn)、蝶形、套筒式、球形等。在具體選擇時，可做如下考慮：
主要根據(jù)所選擇的流量特性和不平衡力等因素來考慮。
當(dāng)流體介質(zhì)是含有高濃度磨損性顆粒的懸浮液時，閥的內(nèi)部材料要堅硬。
由于介質(zhì)具有腐蝕性，盡量選擇結(jié)構(gòu)簡單閥門。
當(dāng)介質(zhì)的溫度、壓力高且變化大時，應(yīng)選用閥芯和閥座的材料受溫度、壓力變化小的閥門。
閃蒸和空化只產(chǎn)生在液體介質(zhì)。在實際生產(chǎn)過程中，閃蒸和空化會形成振動和噪聲，縮短閥門的使用壽命，因此在選擇閥門時應(yīng)防止閥門產(chǎn)生閃蒸和空化。

美國MKS控制閥是一種精密的流量控制設(shè)備，主要用于半導(dǎo)體器件生產(chǎn)、平板顯示器、光學(xué)儲存介質(zhì)等領(lǐng)域。

美國MKS控制閥的功能主要包括以下幾個方面：

精確控制氣流：MKS控制閥能夠精確控制過程中上游的氣流，這對于維持穩(wěn)定的工藝環(huán)境至關(guān)重要。

減少污染和腐蝕：使用金屬密封件以避免污染和腐蝕，確保了產(chǎn)品的純凈度和延長了設(shè)備的使用壽命。

高溫運行能力：MKS高溫閥可在150°C的過程溫度下運行，適應(yīng)了更廣泛的工業(yè)應(yīng)用需求。

調(diào)節(jié)和更換便利性：MKS控制閥的節(jié)流孔無需特殊工具即可輕松調(diào)節(jié)或更換，這使得維護(hù)和調(diào)整變得更加便捷。

控制性能優(yōu)化：通過兩個螺旋彈簧使電樞在閥體內(nèi)居中并抵抗磁升力，最大限度地減少了摩擦和遲滯，從而優(yōu)化了控制性能。

適應(yīng)不同流量范圍：MKS控制閥提供了廣泛的流量范圍，能夠滿足不同工藝過程的需求。

美國MKS控制閥的特性主要包括以下幾點1：

精確控制：上游流量控制閥是比例控制閥，設(shè)計用于精確控制過程中上游的氣流。

減少污染和腐蝕：使用保證外部泄漏率小于1x10-10atmcc/sec(He)的金屬密封件以避免污染和腐蝕。

高溫運行能力：148高溫閥可在150°C的過程溫度下運行。

調(diào)節(jié)功能：當(dāng)與MKS控制器和適當(dāng)?shù)牧髁總鞲衅饕黄鹗褂脮r，248D閥門可調(diào)節(jié)氣體流量，同時保持準(zhǔn)確和精確的壓力或流量。

易維護(hù)性：248D閥門的節(jié)流孔無需特殊工具即可輕松調(diào)節(jié)或更換。

廣泛的流量范圍：滿量程流量范圍為10-50,000標(biāo)準(zhǔn)立方厘米，最小可控流量根據(jù)不同情況分別為0.2%滿量程（小于100sccm）、0.1%滿量程（100至10,000sccm）和小于2%滿量程（大于10,000sccm）。

密封材料多樣性：提供多種密封材料選項，如Viton、氯丁橡膠、Buna-N或Kalrez，以適應(yīng)不同的應(yīng)用需求。

工作溫度范圍：工作溫度范圍為-10至60°，適應(yīng)多種環(huán)境條件。

以上特性使得美國MKS控制閥成為半導(dǎo)體器件生產(chǎn)、平板顯示器、光學(xué)儲存介質(zhì)、玻璃鍍膜、光電產(chǎn)品等生產(chǎn)設(shè)備及制藥和醫(yī)學(xué)成像設(shè)備的理想選擇。

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MKS部分系列
MKS壓力控制閥
627D01TAC1B 627D01TAC1P 627D01TAC2B 627D01TAC2P 627D01TAD1B 627D01TAD1P 627D01TAD2B 627D01TAD2P 627D01TAE1B 627D01TAE1P 627D01TAE2B 627D01TAE2P 627D01TBC1B 627D01TBC1P 627D01TBC2B 627D01TBC2P 627D01TBD1B 627D01TBD1P 627D01TBD2B 627D01TBD2P 627D01TBE1B 627D01TBE1P 627D01TBE2B 627D01TBE2P 627D01TCC1B 627D01TCC1P 627D01TCC2B 627D01TCC2P 627D01TCD1B 627D01TCD1P 627D01TCD2B 627D01TCD2P 627D01TCE1B 627D01TCE1P 627D01TCE2B 627D01TCE2P 627D01TDC1B 627D01TDC1P 627D01TDC2B 627D01TDC2P 627D01TDD1B 627D01TDD1P 627D01TDD2B 627D01TDD2P 627D01TDE1B 627D01TDE1P 627D01TDE2B 627D01TDE2P
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