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M3030V-Linetech質(zhì)量流量計(jì)
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Linetech質(zhì)量流量計(jì)廣泛應(yīng)用于:真空鍍膜設(shè)備、光電產(chǎn)業(yè)到工業(yè)工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺(tái)、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入,直拉式晶爐,精密半導(dǎo)體、燃料電池、氣調(diào)儲(chǔ)存保鮮相關(guān)設(shè)備、生物反應(yīng)器、生物過(guò)程控制器、大學(xué)實(shí)驗(yàn)室、研究所、食品及制藥產(chǎn)業(yè)、醫(yī)療設(shè)備、氣相色譜儀等相關(guān)行業(yè)。

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 Linetech質(zhì)量流量計(jì)主要參數(shù):


流量范圍:               0.005-1000(slpm)

響應(yīng)時(shí)間:               ≤2

精    度:               ≤1%0.2%

重 復(fù) 性:               ±0.25

輸出信號(hào):               0-5vdc或4-20mA

供電電壓:               15-28vdc

溫度范圍:               0-50℃

 

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