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MCV-Alicat氣體質(zhì)量流量控制器
  • MCV-Alicat氣體質(zhì)量流量控制器
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貨物所在地:北京北京市

更新時間:2025-01-07 21:00:07

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( 聯(lián)系我們,請說明是在 化工儀器網(wǎng) 上看到的信息,謝謝?。?/p>

Alicat氣體質(zhì)量流量控制器主要應(yīng)用于需要有截止功能應(yīng)用的場合,如真空鍍膜及磁控濺射工藝,這個閥是常閉閥,擁有極低的泄漏率。

一、Alicat氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點

150毫秒內(nèi)完成穩(wěn)定的控制響應(yīng)

精確、穩(wěn)定的流量取決于控制響應(yīng)速度,艾里卡特?質(zhì)量流量控制器50毫秒內(nèi)即可到達新的設(shè)定值??焖?、可重復(fù)、穩(wěn)定!

擁有可靠的穩(wěn)定性及響應(yīng)速度,艾里卡特?質(zhì)量流量控制器總是一擊擊中,為快的質(zhì)量流量控制器!采用艾里卡特?的層流壓差流量測量技術(shù)與高速比例控制閥相結(jié)合,使得到達設(shè)定值的速度遠遠快過您眨一下眼。

2、操作便捷

?     50-100毫秒控制響應(yīng)

?     允許用戶自行調(diào)節(jié)PID以獲得的速度和穩(wěn)定性

?     定制化閥門孔徑以保證滿量程流量的穩(wěn)定性

?     同一臺設(shè)備控制質(zhì)量流量、體積流量或壓力

?     瞬間啟動、無需預(yù)熱:1秒內(nèi)即可開始流量控制

二、Alicat氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品系列

MC 標準系列

控制響應(yīng)快、穩(wěn)定的流量控制器。

MCR 大流量系列

精確控制大流量(50-3000 slpm)氣體。艾里卡特?R系列閥門為*的無摩擦閥門,可精密控制大流量的氣體流量,特殊的孔狀模式允許我們根據(jù)您的應(yīng)用需求量身定制閥門。

MCW / MCRW 低壓損系列

大限度減小壓損對系統(tǒng)的影響,滿量程壓損低僅為4mbar(0.06 psid);艾里卡特?Whisper低壓損系列質(zhì)量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力,是航空航天、環(huán)境氣體分析等應(yīng)用的選擇;大量程:0-500 slpm。點擊這里了解更多關(guān)于Whisper系列

MCS / MCRS 耐腐蝕系列

所有量程均可采用適用于腐蝕性氣體的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)。 點擊這里了解更多關(guān)于耐腐蝕系列

MCE / MCV 半導體行業(yè)系列

可快速、簡易地替換老化陳舊的熱式流量控制器,可任意定制引腳功能使之與您的控制系統(tǒng)兼容,封閉式閥門設(shè)計更是符合半導體行業(yè)標準。MCV系列另增加了后置的氣動截至閥 ,專門用于真空應(yīng)用??啥ㄖ葡鄳?yīng)的防腐蝕系列MCES / MCVS大量程:0-20 slpm點擊這里了解更多關(guān)于半導體行業(yè)系列

MCD / MCRD 雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列

*雙向質(zhì)量流量控制器,可正向或反向控制氣體流量??啥ㄖ频蛪簱p系列MCDW系列及防腐蝕型MCDS系列。  點擊這里了解更多關(guān)于雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列

三、Alicat氣體質(zhì)量流量控制器性能參數(shù)

指標

質(zhì)量流量控制器

量程

0.5SCCM,1SCCM,2SCCM5SCCM,10SCCM,50SCCM100SCCM....20SLPM

精度

±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程(可選高精度:±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程)

重復(fù)性

±0.2%

量程比

200:1

響應(yīng)時間

100ms

標準狀態(tài)(STP)

25&14.696PSIA 101.325kPa

溫度范圍

-1050

零點漂移

0.02

量程漂移

0.02

濕度范圍

0-*

測量流量范圍

128%(過流率)

大耐壓

145psi

輸出信號(數(shù)字)

質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度

數(shù)字信號可選

RS485Modbus,Profibus

輸出信號(模擬)

質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度

模擬信號可選

0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC,4-20mA

電氣連接

8/9/15針(根據(jù)不同類型流量計而定)

供電電壓

7-30VDC4-20mA輸出時為:15-30VDC

供電電流

0.035A4-20mA輸出時為:0.055A

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