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MCV-美國ALICAT帶截止閥氣體質量流量控制器
  • MCV-美國ALICAT帶截止閥氣體質量流量控制器
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貨物所在地:北京北京市

更新時間:2025-01-07 21:00:07

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美國ALICAT帶截止閥氣體質量流量控制器主要應用于需要有截止功能應用的場合,如真空鍍膜及磁控濺射工藝,這個閥是常閉閥,擁有極低的泄漏率。

一、美國ALICAT帶截止閥氣體質量流量控制器產品系列

MC 標準系列

控制響應快、穩(wěn)定的流量控制器。

MCR 大流量系列

精確控制大流量(50-3000 slpm)氣體。艾里卡特?R系列閥門為*的無摩擦閥門,可精密控制大流量的氣體流量,特殊的孔狀模式允許我們根據(jù)您的應用需求量身定制閥門。

MCW / MCRW 低壓損系列

大限度減小壓損對系統(tǒng)的影響,滿量程壓損低僅為4mbar(0.06 psid);艾里卡特?Whisper低壓損系列質量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力,是航空航天、環(huán)境氣體分析等應用的選擇;大量程:0-500 slpm。點擊這里了解更多關于Whisper系列

MCS / MCRS 耐腐蝕系列

所有量程均可采用適用于腐蝕性氣體的316L不銹鋼結構。 點擊這里了解更多關于耐腐蝕系列

MCE / MCV 半導體行業(yè)系列

可快速、簡易地替換老化陳舊的熱式流量控制器,可任意定制引腳功能使之與您的控制系統(tǒng)兼容,封閉式閥門設計更是符合半導體行業(yè)標準。MCV系列另增加了后置的氣動截至閥 ,專門用于真空應用??啥ㄖ葡鄳姆栏g系列MCES / MCVS。大量程:0-20 slpm. 點擊這里了解更多關于半導體行業(yè)系列

MCD / MCRD 雙向質量流量&壓力控制器系列

*雙向質量流量控制器,可正向或反向控制氣體流量??啥ㄖ频蛪簱p系列MCDW系列及防腐蝕型MCDS系列。  點擊這里了解更多關于雙向質量流量&壓力控制器系列

二、美國ALICAT帶截止閥氣體質量流量控制器產品特點

1、50毫秒內完成穩(wěn)定的控制響應

精確、穩(wěn)定的流量取決于控制響應速度,艾里卡特?質量流量控制器50毫秒內即可到達新的設定值。快速、可重復、穩(wěn)定!

擁有可靠的穩(wěn)定性及響應速度,艾里卡特?質量流量控制器總是一擊擊中,為快的質量流量控制器!采用艾里卡特?的層流壓差流量測量技術與高速比例控制閥相結合,使得到達設定值的速度遠遠快過您眨一下眼。

2、操作便捷

?     50-100毫秒控制響應

?     允許用戶自行調節(jié)PID以獲得的速度和穩(wěn)定性

?     定制化閥門孔徑以保證滿量程流量的穩(wěn)定性

?     同一臺設備控制質量流量、體積流量或壓力

?     瞬間啟動、無需預熱:1秒內即可開始流量控制


三、美國ALICAT帶截止閥氣體質量流量控制器常用選配項

?     后置閥門,優(yōu)化真空及背壓應用的控制

?     批量控制模式,依靠快速的閥門響應來分配流量,包含在累加器(TOT)功能中

?     CSA認證12區(qū) / ATEX認證12區(qū)允許設備用于危險環(huán)境

?     9針或15D-Sub等連接接口可選

?     通訊模式有Modbus-RTU、RS-232、RS-485、PROFIBUS等可選

?     彩色背光顯示屏適用于光線不足的場合

四、美國ALICAT帶截止閥氣體質量流量控制器性能參數(shù)

指標

質量流量控制器

量程

0.5SCCM,1SCCM,2SCCM,5SCCM,10SCCM,50SCCM,100SCCM....20SLPM

精度

±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程(可選高精度:±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程)

重復性

±0.2%

量程比

200:1

響應時間

100ms

標準狀態(tài)(STP)

25℃&14.696PSIA (101.325kPa)

溫度范圍

-10~50

零點漂移

0.02%

量程漂移

0.02%

濕度范圍

0-*

測量流量范圍

128%(過流率)

大耐壓

145psi

輸出信號(數(shù)字)

質量流量、體積流量、壓力和溫度

數(shù)字信號可選

RS485,Modbus,Profibus

輸出信號(模擬)

質量流量、體積流量、壓力和溫度

模擬信號可選

0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC,4-20mA

電氣連接

8針/9針/15針(根據(jù)不同類型流量計而定)

供電電壓

7-30VDC(4-20mA輸出時為:15-30VDC)

供電電流

0.035A(4-20mA輸出時為:0.055A)

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