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北京漢默科技有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第11年

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MC-質(zhì)量流量控制器
  • MC-質(zhì)量流量控制器
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地: 美國(guó)

更新時(shí)間:2024-09-24 21:00:07

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質(zhì)量流量控制器,Z小控制量程低至0-0.5SCCM,采用層流差壓原理,可本地顯示溫度,絕壓,質(zhì)量流量和體積流量,耐壓1MPa,低壓差條件下亦可使用。內(nèi)置130種氣體,大大節(jié)約用戶成本。反應(yīng)時(shí)間快。

一、質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)

150毫秒內(nèi)完成穩(wěn)定的控制響應(yīng)

精確、穩(wěn)定的流量取決于控制響應(yīng)速度,艾里卡特®質(zhì)量流量控制器50毫秒內(nèi)即可到達(dá)新的設(shè)定值??焖佟⒖芍貜?fù)、穩(wěn)定!

擁有可靠的穩(wěn)定性及響應(yīng)速度,艾里卡特®質(zhì)量流量控制器總是一擊擊中,為快的質(zhì)量流量控制器!采用艾里卡特®的層流壓差流量測(cè)量技術(shù)與高速比例控制閥相結(jié)合,使得到達(dá)設(shè)定值的速度遠(yuǎn)遠(yuǎn)快過您眨一下眼。

2、操作便捷

?     50-100毫秒控制響應(yīng)

?     允許用戶自行調(diào)節(jié)PID以獲得的速度和穩(wěn)定性

?     定制化閥門孔徑以保證滿量程流量的穩(wěn)定性

?     同一臺(tái)設(shè)備控制質(zhì)量流量、體積流量或壓力

?     瞬間啟動(dòng)、無需預(yù)熱:1秒內(nèi)即可開始流量控制

二、質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品系列

MC 標(biāo)準(zhǔn)系列

控制響應(yīng)快、穩(wěn)定的流量控制器。

MCR 大流量系列

精確控制大流量(50-3000 slpm)氣體。艾里卡特®R系列閥門為*的無摩擦閥門,可精密控制大流量的氣體流量,特殊的孔狀模式允許我們根據(jù)您的應(yīng)用需求量身定制閥門。

MCW / MCRW 低壓損系列

大限度減小壓損對(duì)系統(tǒng)的影響,滿量程壓損低僅為4mbar(0.06 psid);艾里卡特®Whisper低壓損系列質(zhì)量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力,是航空航天、環(huán)境氣體分析等應(yīng)用的選擇;大量程:0-500 slpm。點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于Whisper系列

MCS / MCRS 耐腐蝕系列

所有量程均可采用適用于腐蝕性氣體的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)。 點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于耐腐蝕系列

MCE / MCV 半導(dǎo)體行業(yè)系列

可快速、簡(jiǎn)易地替換老化陳舊的熱式流量控制器,可任意定制引腳功能使之與您的控制系統(tǒng)兼容,封閉式閥門設(shè)計(jì)更是符合半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。MCV系列另增加了后置的氣動(dòng)截至閥 ,專門用于真空應(yīng)用??啥ㄖ葡鄳?yīng)的防腐蝕系列MCES / MCVS。大量程:0-20 slpm. 點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于半導(dǎo)體行業(yè)系列

MCD / MCRD 雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列

*雙向質(zhì)量流量控制器,可正向或反向控制氣體流量??啥ㄖ频蛪簱p系列MCDW系列及防腐蝕型MCDS系列。  點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列

三、質(zhì)量流量控制器常用選配項(xiàng)

?     后置閥門,優(yōu)化真空及背壓應(yīng)用的控制

?     批量控制模式,依靠快速的閥門響應(yīng)來分配流量,包含在累加器(TOT)功能中

?     CSA認(rèn)證12區(qū) / ATEX認(rèn)證12區(qū)允許設(shè)備用于危險(xiǎn)環(huán)境

?     9針或15D-Sub等連接接口可選

?     通訊模式有Modbus-RTU、RS-232RS-485、PROFIBUS等可選

?     彩色背光顯示屏適用于光線不足的場(chǎng)合

四、質(zhì)量流量控制器性能參數(shù)

指標(biāo)

質(zhì)量流量控制器

量程

0.5SCCM,1SCCM,2SCCM,5SCCM,10SCCM,50SCCM,100SCCM....20SLPM

精度

±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程(可選高精度:±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程)

重復(fù)性

±0.2%

量程比

200:1

響應(yīng)時(shí)間

100ms

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)(STP)

25℃&14.696PSIA (101.325kPa)

溫度范圍

-10~50

零點(diǎn)漂移

0.02%

量程漂移

0.02%

濕度范圍

0-*

測(cè)量流量范圍

128%(過流率)

大耐壓

145psi

輸出信號(hào)(數(shù)字)

質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度

數(shù)字信號(hào)可選

RS485,Modbus,Profibus

輸出信號(hào)(模擬)

質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度

模擬信號(hào)可選

0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC,4-20mA

電氣連接

8針/9針/15針(根據(jù)不同類型流量計(jì)而定)

供電電壓

7-30VDC(4-20mA輸出時(shí)為:15-30VDC)

供電電流

0.035A(4-20mA輸出時(shí)為:0.055A)

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