法國(guó)Phasics的紫外高分辨率波前傳感器是基于Phasics特別的SID4四波橫向剪切干涉技術(shù)，高分辨率波前傳感器SID4-UV可覆蓋190-400 nm紫外檢測(cè)波段，在紫外線(xiàn)光譜中提供了高分辨率（355x280測(cè)量點(diǎn)）和高靈敏度（1 nm RMS）。為波前像差、波前畸變的檢測(cè)以及激光光束及波前探測(cè)、分析提供了全新方案。
法國(guó)Phasics的紫外高分辨率波前傳感器
190-400nm紫外相應(yīng)高靈敏度的紫外高分辨率波前分析儀
基于特別的知識(shí)產(chǎn)權(quán)技術(shù)，法國(guó)Phasics公司的波前傳感器具備高靈敏度及高相位分辨率的特點(diǎn)，即插即用的適用類(lèi)型適用于大多數(shù)用戶(hù)的應(yīng)用環(huán)境。法國(guó)Phasics公司為用戶(hù)提供兩款紫外檢測(cè)波前分析儀，SID4-UV和SID4-UV-HR。
相比之下，SID4-UV適用于250-400 nm波段的紫外光譜，250 × 250的取樣分辨率、2 nm RMS的相位靈敏度以及7.4 × 7.4 mm2的靶面面積足以滿(mǎn)足大部分用戶(hù)需求，相比于SID4-UV-HR更具備成本效益，在滿(mǎn)足用戶(hù)使用需求的前提下有效的節(jié)約用戶(hù)成本。
其中SID4-UV-HR作為SID4-UV的增強(qiáng)款，該設(shè)備在190-400 nm的紫外波段有著高相位分辨率（355×280取樣分辨率）、高相位靈敏度（優(yōu)于1 nm RMS）以及更大的靶面面積（13.8 x 10.88 mm2）。這使得SID4-UV-HR適用于光刻、半導(dǎo)體等領(lǐng)域，尤其適用于透鏡或晶圓等的光學(xué)組件表征以及波前像差，波前曲線(xiàn)的波前探測(cè)需求。
高分辨率波前傳感器應(yīng)用領(lǐng)域：
-天文觀(guān)測(cè)
-航空航天工業(yè)
-半導(dǎo)體加工
-工業(yè)激光
-光學(xué)元件及組裝
-增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)-虛擬現(xiàn)實(shí)
SID4-UV高分辨率波前傳感器產(chǎn)品規(guī)格：
*使用建議電腦搭載SID4軟件環(huán)境下
高分辨率波前傳感器主要特點(diǎn)：
-190-400 nm紫外波段響應(yīng)
-1 nm RMS高相位靈敏度
-355 × 280超高相位取樣分辨率
紫外波前分析儀主要特點(diǎn)：
-250 - 400 nm紫外波段響應(yīng)
-2 nm RMS高相位靈敏度
-250 × 250超高相位取樣分辨率
高分辨率波前傳感器產(chǎn)品應(yīng)用：
-激光檢測(cè)
-自適應(yīng)光學(xué)檢測(cè)
-等離子體檢測(cè)
-光學(xué)元件及光學(xué)系統(tǒng)計(jì)量
SID4-UV-HR高分辨率波前傳感器產(chǎn)品規(guī)格：
*使用建議電腦搭載SID4軟件環(huán)境下
高分辨率波前傳感器產(chǎn)品應(yīng)用：
-激光檢測(cè)
-自適應(yīng)光學(xué)檢測(cè)
-等離子體檢測(cè)
-光學(xué)元件及光學(xué)系統(tǒng)計(jì)量
-波前曲線(xiàn)檢測(cè)
法國(guó)Phasics的紫外高分辨率波前傳感器
