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美國(guó)DataRay的導(dǎo)軌式光束質(zhì)量分析儀

導(dǎo)軌式光束分析儀，測(cè)量光束質(zhì)量因子M2，發(fā)散角

美國(guó)Dataray針對(duì)需要測(cè)量M2的客戶提供了相機(jī)成像和狹縫掃描系統(tǒng)，除了可以用來測(cè)量M2，還可以測(cè)量發(fā)散角、光束輪廓、束腰直徑等。

ISO 11146標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于M2的測(cè)量要求在光束的瑞利長(zhǎng)度范圍內(nèi)至少取15組數(shù)據(jù)以上，然后取其合理數(shù)值的平均值得出較為準(zhǔn)確的M2值；在大多數(shù)情況下，這就需要導(dǎo)軌式光束質(zhì)量分析儀在傳播方向上多次移動(dòng)取點(diǎn)。

為得到精確度較高的M2值，美國(guó)dataray推出的光束輪廓分析儀Beam R2狹縫系列和光斑分析儀WinCamD系列可以和M2DU系列導(dǎo)軌搭配使用，從而符合ISO 11146標(biāo)準(zhǔn)。

M2DU系列導(dǎo)軌特點(diǎn)：

- 分辨率小于1 μm

- 可以與dataray軟件兼容

- 符合RoHS和CE標(biāo)準(zhǔn)

- 有50，200，500，1000 mm的長(zhǎng)度

為什么要關(guān)注激光的光束質(zhì)量因子——M2，很多外行的人都會(huì)有這樣的一個(gè)問題。M2是激光或激光系統(tǒng)質(zhì)量保證或者交付驗(yàn)收的一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)，是導(dǎo)致實(shí)際聚焦光斑直徑比預(yù)測(cè)計(jì)算的要大的原因，也是激光束通過光學(xué)系統(tǒng)傳播一個(gè)不變的屬性并且可以用來描述傳播路徑上任何點(diǎn)的光束。

實(shí)際的激光束并非按照理想實(shí)現(xiàn)，由于激光腔、激光介質(zhì)和附屬光學(xué)器件的限制意味著大多數(shù)的光束并不能達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)的衍射極限、高斯剖面或純TEM00模式。復(fù)雜的光束需要經(jīng)過多種模式的傳播，增加了M2值。即使是條件好的的實(shí)驗(yàn)室里的HeNe激光器的M2值也約為1.05到1.2，而不是標(biāo)準(zhǔn)的TEM00光束的1.0。

導(dǎo)軌式M2測(cè)量?jī)x——WinCamD系列：

- 靈敏的成像系統(tǒng)

- 可以測(cè)量大范圍的M2

      - 可以適用于脈沖光和連續(xù)光

- 190-1600 nm的寬波段范圍，11.3 x 11.3 mm的傳感器尺寸，5.5 x 5.5 μm的像素尺寸

導(dǎo)軌式光束分析儀——Beam R2系列：          

- 高分辨率（0.1 μm）單平面掃描系統(tǒng)

- 可以測(cè)量大范圍的M2

- 可以測(cè)量連續(xù)光和重復(fù)頻率大于（500 / Beam diameter in μm）KHz的脈沖光

      - 波長(zhǎng)范圍從190 nm到2500 nm

- 搭配導(dǎo)軌M2DU系列可以測(cè)量M2和發(fā)散角等

美國(guó)DataRay的導(dǎo)軌式光束質(zhì)量分析儀