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新能源材料應用大氣等離子清洗機,經濟的真空等離子處理機
達因特SPA系列大氣等離子清洗機,經濟的真空等離子處理機分為直噴和旋轉型,SPV等離子體處理機是真空腔體,臺式\*獨立的,只需小的工作臺面積.
SPA系列是大氣等離子清洗機，其中分為直噴和旋轉型 ， SPV等離子體處理機是真空腔體，臺式\*獨立的，需要小的工作臺面積。系統(tǒng)機箱容納等離子體室，控制電子設備，13.56 MHz射頻發(fā)生器和自動匹配網絡。通過互鎖的門或可拆卸的面板提供維護通路。等離子室多支持7個可移動和可調節(jié)的動力或接地貨架，以適應各種零件，零件和零件運輸工具，包括雜志，托盤和船只。真空等離子體處理系統(tǒng)可以適應各種各樣的工藝氣體，包括氬氣，氧氣，氫氣，氦氣和氟化氣體。兩種型號都配有兩（2）個電子質量流量控制器，用于氣體控制，另外兩個（2）可選（多4個））。方便的設施連接，用于驗證過程中使用的定期校準要求。
SPA等離子處理設備： 允許全面的前部訪問，方便地訪問所有內部組件。泵定位在輥子上，便于拆卸。等離子體室由11號不銹鋼和鋁制固定裝置構成，具有出色的耐用性。該室具有多個可移動和可調節(jié)的貨架，可容納一系列零件承運人，包括機械手，托盤，晶片。具有可選高吞吐量貨架的離子體處理系統(tǒng)，將等離子清洗機的可靠性和工藝質量與達因特*的擱架設計的成熟優(yōu)勢相結合。等離子體中發(fā)現(xiàn)的反應離子，提高了處理均勻性，同時縮短了處理時間。系統(tǒng)允許從一系列工藝氣體（如氬氣，氫氣和氦氣）中進行選擇。它配備了四個質量流量控制器，用于氣體控制。開槽的雜志垂直放置在室內。此外，開槽的處理的材料可以垂直放置在室內。通常，每個槽至少保存20個引線框。SPV等離子室可容納多個放置處理的槽，具體取決于處理材料的大小。
等離子體系統(tǒng)是一種有效的等離子體處理，具有用于批量處理的超大型室。它是一種經濟的真空等離子處理機，用于處理各種零部件。它*獨立，需要小的占地面積。泵，腔室，控制電子設備和13.56 MHz射頻發(fā)生器都包含在其外殼內。AP-1500等離子處理設備還提供滑出式水平貨架，便于裝卸。其緊湊，服務友好的設計占地面積小，專為從系統(tǒng)前后的維護而設計。因此，多個真空等離子體處理系統(tǒng)可以并排放置，以大化占地面積利用率。泵定位在輥子上，便于拆卸?？刂葡到y(tǒng)可以在多個級別進行密碼保護，以防止未經授權的配方修改。這確保系統(tǒng)從批到后一次的性能一致。
達因特大氣等離子清洗機設備提供了的處理的均勻性和一致性的過程，等離子體系統(tǒng)在一個非?？膳渲玫钠脚_中提供的等離子體處理質量和自動化功能，從而實現(xiàn)半導體和電子封裝的高產量等離子體處理和等離子體清洗， 根據(jù)室內套件和電極配置，等離子體室能夠進行諸如電介質蝕刻，光致抗蝕劑除去/灰分，氧化物去除，有機污染物清潔和表面活化等過程。