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真空等離子處理，真空等離子清洗機 SPV-150 技術(shù)規(guī)格,等離子清洗機的結(jié)構(gòu)主要分為五大部分組成：控制系統(tǒng)、激勵電源系統(tǒng)、真空腔體、工藝氣體系統(tǒng)、以及真空泵系統(tǒng)。
 

（實際外觀以出廠的為準(zhǔn)）

（1）產(chǎn)品簡述

（1.1）等離子清洗的作用

等離子清洗的作用原理主要是：

（A）對材料表面的刻蝕作用--物理作用

等離子體中的大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子，作用到固體樣品表面，不但

清除了表面原有的污染物和雜質(zhì)，而且會產(chǎn)生刻蝕作用，將樣品表面變粗糙，形成許多微細(xì)

坑洼，增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤濕性能。

（B）激活鍵能，交聯(lián)作用

等離子體中的粒子能量在 0~20eV，而聚合物中大部分的鍵能在 0~10eV，因此等離子體作

用到固體表面后，可以將固體表面的原有的化學(xué)鍵產(chǎn)生斷裂，等離子體中的自由基與這些鍵

形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構(gòu)，大大地激活了表面活性。

（C）形成新的官能團--化學(xué)作用

如果放電氣體中引入反應(yīng)性氣體，那么在活化的材料表面會發(fā)生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)，引入新的

官能團，如烴基、氨基、羧基等，這些官能團都是活性基團，能明顯提高材料表面活性。

（1.2）產(chǎn)品原理

等離子清洗機的結(jié)構(gòu)主要分為五大部分組成：控制系統(tǒng)、激勵電源系統(tǒng)、真空腔體、工藝氣

體系統(tǒng)、以及真空泵系統(tǒng)。

（A） 控制系統(tǒng)：

控制系統(tǒng)：觸摸屏+PLC

（B） 激勵電源系統(tǒng)：

電源：13.56MHz 的射頻激勵電源，

（C） 真空腔體：

鋁合金腔體，

（D） 工藝氣體系統(tǒng)：

工藝氣體：氬氫混合氣

（E） 真空泵：油泵主要采用雙級旋片油泵

（2.1）技術(shù)參數(shù)

（2.2）尺寸參數(shù)

（2.3）配置清單

配置清單

（3）安裝、調(diào)試、保養(yǎng)

（3.1）.裝卸要求：需提供插車；

（3.2）安裝環(huán)境要求：

A.三相 380V 的，五線（三根火線、一根零線、一根地線）供電電源，功率 5000W,4 平方線；

B.氣體，氬氫混合氣；

C.無水無油的壓縮空氣。

（3.3）安裝及調(diào)試過程需協(xié)助；如提供測試樣品及測試要求等。

（3.4）調(diào)試期限：1 天

（3.5）效果驗證：采用接觸角測試，對處理后的樣品進行量化評估，確保效果

和均勻性及穩(wěn)定性。

（3.6）保養(yǎng)：

A.為了更好的延續(xù)設(shè)備的使用壽命，我們的真空設(shè)備需要定期保養(yǎng),保養(yǎng)周

期：3 個月。

B.保養(yǎng)明細(xì)：

真空等離子設(shè)備保養(yǎng)表

（4）耗材清單