激勵電源一般為 恒流源或者恒壓源
上海朝輝擁有25年傳感器核心技術(shù)的研發(fā)與生產(chǎn)，為中國、美國、中東、意大利等國家的傳感器提供差壓芯體、擴散硅芯體、微熔芯體等核心部件，并與客戶共同分享行業(yè)應(yīng)用的經(jīng)驗數(shù)據(jù)，在技術(shù)與價格上具備較高競爭力。
1、單晶硅芯體：
熔融的單質(zhì)硅凝固時,硅原子以金剛石晶格排列成許多晶核，如果這些晶核長成晶面取向相同的晶粒，則形成單晶硅。由于其內(nèi)部結(jié)構(gòu)的均勻性，單晶硅在力學(xué)、光學(xué)和熱學(xué)性能上表現(xiàn)更佳。zhyq單晶硅壓力芯體具有精度高、穩(wěn)定性好等特點。
2、擴散硅芯體：
傳統(tǒng)的的硅半導(dǎo)體材質(zhì)，在多晶硅上使用微機械加工技術(shù)雕刻而成。技術(shù)成熟，工藝穩(wěn)定，在精度上無法無單晶硅媲美，但是在成本、通用性、以及性價比上具有特殊的優(yōu)勢。
3、玻璃微熔芯體：
美國加州理工學(xué)院在1965年研發(fā)的新型技術(shù)，腔體背面由高溫玻璃粉燒結(jié)17-4PH低碳鋼，腔體由17-4PH不銹鋼翻出，適用于高壓過載，能有效抵抗瞬間壓力沖擊。含有少量雜質(zhì)的流體介質(zhì)，無需充油和隔離膜片即可測量;不銹鋼結(jié)構(gòu)，無“O”型密封圈，無溫度釋放隱患。它可以在高壓下測量600MPa(6000bar)，最高精度為0.075%。
但是玻璃微熔傳感器小量程的測量比較困難，一般測量范圍在500kPa以上。
基于MEMS(微機電系統(tǒng))技術(shù)的壓力傳感器是由微/納惠斯通電橋制成的硅應(yīng)變計。具有輸出靈敏度高、性能穩(wěn)定、批量可靠、重復(fù)性好的優(yōu)點。
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