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儀器包括高精度光柵裝置、密珠導(dǎo)軌的測(cè)量桿裝置、高性能的高速采樣等。

高度計(jì)采用高精度光柵作為測(cè)量基準(zhǔn)，選用玻璃基體的增量式光柵尺，所以測(cè)量支持大測(cè)量范圍，對(duì)震動(dòng)和沖擊不敏感，并具有確定的溫度特性。

增量光柵尺的掃描方法為光電掃描，因此無機(jī)械接觸也無磨損。電子設(shè)備對(duì)輸出信號(hào)進(jìn)行細(xì)分至納米級(jí)的極小測(cè)量步距，從而確保一個(gè)信號(hào)周期內(nèi)微小位置誤差。

索尼高度計(jì)是放置于平臺(tái)上進(jìn)行單軸測(cè)量的儀器，理想的情況是花崗石平臺(tái)。三豐測(cè)高儀是一種平臺(tái)與測(cè)高儀結(jié)合在一起的全功能測(cè)量系統(tǒng)，功能全面的測(cè)高儀主要用于在線或批量檢測(cè)，一臺(tái)或一群機(jī)床上直接進(jìn)行測(cè)量，特別是對(duì)于一些尺寸要求嚴(yán)格的工件在生產(chǎn)過程中的調(diào)試和抽樣檢測(cè)非常有用。