電子特氣管道系統(tǒng)，簡(jiǎn)稱特氣系統(tǒng)由存儲(chǔ)、輸送、分配、控制四類組成，其中“存儲(chǔ)"是指氣源部分（特氣柜GC），“輸送"指配管方面（一般用雙套管），“分配"指二次配部分（氣體分配柜VMB），“控制"指監(jiān)督控制部分（氣體管理系統(tǒng)GMS）。是一種廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、集成電路、光纖、太陽能電池等微電子行業(yè)的氣路系統(tǒng)。

全自動(dòng)GC（特氣柜）按功能設(shè)計(jì)可分為單鋼瓶、雙鋼瓶、三鋼瓶。

單鋼的設(shè)計(jì)通常使用于研究機(jī)構(gòu)或?qū)嶒?yàn)室等。工藝制程尚未有量產(chǎn)，氣體使用量小，現(xiàn)場(chǎng)可隨時(shí)協(xié)調(diào)停機(jī)進(jìn)行鋼瓶之更換，其優(yōu)點(diǎn)節(jié)省空間、成本低、但需透過日常之管理與協(xié)調(diào)以免中斷工藝制程造成損失。

雙鋼與三鋼常用于量產(chǎn)工廠，工藝制程不允許停機(jī)情況，當(dāng)一支鋼瓶使用完后，另一支備用鋼瓶會(huì)自動(dòng)轉(zhuǎn)為供氣，此兩種形式最大的差別是在吹掃管路的高純氮?dú)馐且凿撈炕驈S務(wù)端供應(yīng)，當(dāng)吹掃用的高純氮?dú)饨y(tǒng)一由廠務(wù)端來供應(yīng)時(shí)，所有特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)不管是否相容，全部連接到同一個(gè)供應(yīng)源，會(huì)有較高的風(fēng)險(xiǎn)值；萬一中央供應(yīng)系統(tǒng)的高純氮?dú)庵袛?，警?bào)系統(tǒng)又損壞，恰巧兩種不相容的氣體同時(shí)使用吹掃，此時(shí)極有可能發(fā)生爆炸的事件發(fā)生，相同性質(zhì)可使用同一瓶鋼瓶來吹掃增加的成本及空間非常有限，是一種非常好的應(yīng)變方式。