完整性泡點(diǎn)孔徑測試儀采用常用的全自動數(shù)字進(jìn)氣控制子系統(tǒng)，摒棄了國內(nèi)落后的機(jī)械半自動進(jìn)氣方式（即手動調(diào)節(jié)單向節(jié)流閥改變氣體流量），使測試儀能夠在不同的氣源壓力和測試條件下工作穩(wěn)定可靠，特別是當(dāng)客戶使用的氣源壓力波動較大時(shí)，儀器具有自動穩(wěn)定和數(shù)字控制技術(shù)，確保測試結(jié)果的準(zhǔn)確性和準(zhǔn)確性。
由于毛細(xì)作用，潤濕液停留在膜的多孔通道中，這種毛細(xì)作用隨著孔徑的減小而增加。取決于膜孔徑的氣體壓力迫使液體流出孔。此時(shí)的壓力稱為“泡點(diǎn)”或簡稱BP。液體會從膜上的大孔徑中流出。因此，濾芯的BP值還與膜材料的表面張力有關(guān)（潤濕角因材料不同而異），尤其是潤濕液。低表面張力液體，如有機(jī)溶劑、洗滌劑和乳化劑，其BP值較低。BP值還與潤濕介質(zhì)的溫度有關(guān)。完整性泡點(diǎn)孔徑測試儀泡點(diǎn)測試法特別適用于晶圓薄膜的完整性測試。
當(dāng)樣品高壓側(cè)的氣體壓力大于樣品膜孔中的毛細(xì)壓力和表面張力時(shí)，它會從樣品的另一側(cè)釋放，壓緊孔隙中的潤濕液通過氣體壓力排出到樣品的低壓側(cè)。此時(shí)試樣高壓側(cè)的壓力被認(rèn)為是泡點(diǎn)壓力，此時(shí)的現(xiàn)象應(yīng)該是試樣中出現(xiàn)一系列連續(xù)的氣泡。
完整性泡點(diǎn)孔徑測試儀在進(jìn)行完整性測試之前，必須確保測試過濾材料已被*浸泡。人工滲透的方法一般如下：將濾料放入滲透液中充分浸泡20分鐘左右，每隔3分鐘提起一次濾料以消除氣泡，使大氣壓水力滲入膜孔。產(chǎn)品潤濕液不是指水，也不是產(chǎn)品或工藝流體，而是指溶劑。產(chǎn)品潤濕后，同一濾材的完整性測試結(jié)果可能會有所不同。造成它們不同的原因是潤濕液的表面張力系數(shù)不同。測試氣體在擴(kuò)散流中的溶解度和擴(kuò)散能力也會造成測試結(jié)果的不一致。對于該系統(tǒng)，推薦的浸泡溶液是碳氟化合物、無水乙醇或60%異丙醇和水的混合物。由于界面張力的分子重力，潤濕液被牢牢鎖在濾料的微孔間隙中。
