EX2自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀是基于消光法（或稱“零橢偏”）橢偏測(cè)量原理，針對(duì)納米薄膜厚度測(cè)量領(lǐng)域推出的一款自動(dòng)測(cè)量型教學(xué)儀器。

EX2儀器適用于納米薄膜的厚度測(cè)量，以及納米薄膜的厚度和折射率同時(shí)測(cè)量。

EX2儀器還可用于同時(shí)測(cè)量塊狀材料（如，金屬、半導(dǎo)體、介質(zhì)）的折射率n和消光系數(shù)k。

特點(diǎn)

• 經(jīng)典消光法橢偏測(cè)量原理

  儀器采用消光法橢偏測(cè)量原理，易于操作者理解和掌握橢偏測(cè)量基本原理和過程。

• 方便安全的樣品水平放置方式

  采用水平放置樣品的方式，方便樣品的取放。

• 緊湊的一體化結(jié)構(gòu)

  集成一體化設(shè)計(jì)，簡(jiǎn)潔的儀器外形通過USB接口與計(jì)算機(jī)相連，方便使用。

• 高準(zhǔn)確性的激光光源

  采用激光作為探測(cè)光波，測(cè)量波長(zhǎng)準(zhǔn)確度高。

• 豐富實(shí)用的樣品測(cè)量功能

  可測(cè)量納米薄膜的膜厚和折射率；塊狀材料的復(fù)折射率、樣品反射率、樣品透過率。

• 便捷的自動(dòng)化操作

  儀器軟件可自動(dòng)完成樣品測(cè)量，并可進(jìn)行方便的測(cè)量數(shù)據(jù)分析、儀器校準(zhǔn)等操作。

• 安全的用戶使用權(quán)限管理

  軟件中設(shè)置了用戶使用權(quán)限（包括：管理員、操作者等模式），便于儀器管理和使用。

• 可擴(kuò)展的儀器功能

  利用本儀器，可通過適當(dāng)擴(kuò)展，完成多項(xiàng)偏振測(cè)量實(shí)驗(yàn)，如馬呂斯定律實(shí)驗(yàn)、旋光測(cè)量實(shí)、旋光等。

應(yīng)用

EX2適合于教學(xué)中單層納米薄膜的薄膜厚度測(cè)量，也可用于測(cè)量塊狀材料的折射率n和消光系數(shù)k。

EX2可測(cè)量的樣品涉及微電子、半導(dǎo)體、集成電路、顯示技術(shù)、太陽電池、光學(xué)薄膜、生命科學(xué)、化學(xué)、電化學(xué)、磁質(zhì)存儲(chǔ)、平板顯示、聚合物及金屬表面處理等領(lǐng)域。

技術(shù)指標(biāo)

 注：(1)測(cè)量重復(fù)性：是指對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣品上同一點(diǎn)、同一條件下連續(xù)測(cè)量30次所計(jì)算的標(biāo)準(zhǔn)差。