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納米單晶硅襯底2D線性納米棒
  • 納米單晶硅襯底2D線性納米棒
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更新時(shí)間:2024-10-16 21:00:07

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納米單晶硅襯底2D線性納米棒基板可用于光學(xué)、生物學(xué)、化學(xué)、物理學(xué)(例如中子散射)、聚合物研究、納米壓印、微流體等各種應(yīng)用。

屹持光電提供各種納米單晶硅襯底2D線性納米棒,為工業(yè)和科研提供低成本的納米光子學(xué)研究。基板可用于光學(xué)、生物學(xué)、化學(xué)、物理學(xué)(例如中子散射)、聚合物研究、納米壓印、微流體等各種應(yīng)用。如果需要,可以用金屬或介電涂層涂覆基底。大多數(shù)表面特征具有略微梯形的橫截面輪廓,具有直平行臺(tái)面和溝槽。也可以使用格狀結(jié)構(gòu)。提供多種特征尺寸和溝槽深度。可以在發(fā)貨之前拍攝基板的SEM圖像以驗(yàn)證確切的輪廓。

表中顯示的尺寸代表目標(biāo)值。周期的精度優(yōu)于0.5%,而溝槽深度和線和空間的寬度可能與目標(biāo)值相差15%。SEM用于說明目的??啥ㄖ聘_尺寸信息。  



納米單晶硅襯底2D線性納米棒規(guī)格

描述

基材寬度和高度公差

標(biāo)準(zhǔn)公差±0.2 mm

通光孔徑(CA

距基板邊緣0.5 mm(圖案可延伸至基板邊緣)  

基材厚度

0.675±0.050mm  

CA表面質(zhì)量

P / N “-P"60/40,最高20/10

CA表面質(zhì)量

P / N “-S" 80/100

CA外表面質(zhì)量

無要求

材料

單晶硅,反應(yīng)離子蝕刻  



1、線性納米棒(線+間隔)


P/N

周期(nm  

凹槽深度(nm  

工作周期1  

線寬度2nm

尺寸3mm  

SNS-C72-1212-50-P  

139

50

50  

69.5  

12.5×12.5×0.7  

SNS-C72-2525-50-P  

139

50

50  

69.5  

25×25×0.7 5  

SNS-C36-1212-110-P  

278

110  

50  

139

12.5×12.5×0.7  

SNS-C24-1212-110-P  

416.6  

110

50  

208

12.5×12.5×0.7  

SNS-C20-0808-150-D45-P  

500

150

44  

220

8×8.3×0.7  

SNS-C20-0808-350-D45-P  

500

350

44  

220

8×8.3×0.7  

SNS-C20-0808-150-D60-P  

500

150

60  

300

8×8.3×0.7  

SNS-C20-0808-350-D60-P  

500

350

60  

300

8×8.3×0.7  

SNS-C18-2009-110-D50-P  

555.5  

110

50  

278

20×9×0.7  

SNS-C18-2009-140-D50-P  

555.5  

140

50  

278

20×9×0.7  

SNS-C18-2009-110-D29-P  

555.5  

110

29  

158

20×9×0.7  

SNS-C18-2009-140-D29-P  

555.5  

140

29  

158

20×9×0.7  

SNS-C16.7-0808-150-D45-P  

600

150

43  

260

8×8.3×0.7  

SNS-C16.7-0808-350-D45-P  

600

350

43  

260

8×8.3×0.7  

SNS-C16.7-0808-150-D55-P  

600

150

55  

330

8×8.3×0.7  

SNS-C16.7-0808-350-D55-P  

600

350

55  

330

8×8.3×0.7  

SNS-C16.5-2912-190-P  

606

190

50  

303

29×12×0.7  

SNS-C16.5-2912-190-S 4  

606

190

50  

303

29×12×0.7  

SNS-C16.5-2924-190-P  

606

190

50  

303

29×24.2×0.7 5  

SNS-C14.8-2410-170-P  

675

170

32  

218

24×10×0.7  

SNS-C14.8-2430-170-P  

675

170

32  

218

24×30.4×0.7 5  

SNS-C14.3-0808-150-D45-P  

700

150

47  

330

8×8.3×0.7  

SNS-C14.3-0808-350-D45-P  

700

350

47  

330

8×8.3×0.7  

SNS-C14.3-0808-150-D55-P  

700

150

55  

375

8×8.3×0.7  

SNS-C14.3-0808-150-D55-P  

700

150

55  

375

8×8.3×0.7  

SNS-C12-1212-200-P  

833.3  

200

50  

416

12.5×12.5×0.7  

SNS-C12-2525-200-P  

833.3  

200

50  

416

25×25×0.7 5  

SNS-C11.7-1212-200-P  

855

200

50  

428

12.5×12.5×0.7  

SNS-C11.7-2525-200-P  

855

200

50  

428

25×25×0.7 5  

1  占空比表示線(臺(tái)面)寬度與周期的比率。
2  表示臺(tái)面的寬度值。
3  第二維對(duì)應(yīng)于凹槽長度。
4  以“-S"結(jié)尾的是“科研"等級(jí)。它至少有80%的可用面積??赡艽嬖诟哌_(dá)80/100表面質(zhì)量值。
5 可提供更大的自定義尺寸 




2、2D納米圖案(矩形和六邊形網(wǎng)格)

P/N

周期(nm  

格子類型  

凹槽深度  

特征寬度(nm  

尺寸(mm  

S2D-24B3-0808-150-P  

700

矩形  

150

260

8×8.3×0.7  

S2D-24B3-0808-350-P  

700

矩形  

350

260

8×8.3×0.7  

S2D-18B3-0808-150-P  

700

矩形  

150

350

8×8.3×0.7  

S2D-18B3-0808-350-P  

700

矩形  

350

350

8×8.3×0.7  

S2D-24C2-0808-150-P  

600

六角  

150

165

8×8.3×0.7  

S2D-24C2-0808-350-P  

600

六角  

350

165

8×8.3×0.7  

S2D-18C2-0808-150-P  

600

六角  

150

240

8×8.3×0.7  

S2D-18C2-0808-350-P  

600

六角  

350

240

8×8.3×0.7  

S2D-24C3-0808-150-P  

700

六角  

150

220

8×8.3×0.7  

S2D-24C3-0808-350-P  

700

六角  

350

220

8×8.3×0.7  

S2D-18C3-0808-150-P  

700

六角  

150

290

8×8.3×0.7  

S2D-18C3-0808-350-P  

700

六角  

350

290

8×8.3×0.7  

S2D-24D2-0808-150-P  

600

六角孔  

150

180

8×8.3×0.7  

S2D-24D2-0808-350-P  

600

六角孔  

350

180

8×8.3×0.7  

S2D-18D3-0808-150-P  

700

六角孔  

150

200

8×8.3×0.7  

S2D-18D3-0808-350-P  

700

六角孔  

350

200

8×8.3×0.7  

S2D-24D3-0808-150-P  

700

六角孔  

150

290

8×8.3×0.7  

S2D-24D3-0808-350-P  

700

六角孔  

350

290

8×8.3×0.7  



 


rect post

hex post

hex hole


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