您好, 歡迎來(lái)到化工儀器網(wǎng)! 登錄| 免費(fèi)注冊(cè)| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
當(dāng)前位置:德國(guó)韋氏納米系統(tǒng)(香港)有限公司>>Deposition沉積系統(tǒng)>>PECVD等離子化學(xué)氣相沉積系>> NPE-4000(A)全自動(dòng)PECVD等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地國(guó)外
更新時(shí)間:2017-03-03 10:57:41瀏覽次數(shù):1234次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來(lái)自 化工儀器網(wǎng)NPE-4000PECVD等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
NPE-3500 PECVD等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
NPE-4000(M) PECVD等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
NPE-3000 PECVD等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
NPE-4000(A)全自動(dòng)PECVD等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
PECVD沉積技術(shù)
NPE-4000(A)全自動(dòng)PECVD等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)概述:NANO-MASTER PECVD系統(tǒng)能夠沉積高質(zhì)量的SiO2, Si3N4, 或DLC薄膜到zui大可達(dá)6" 直徑的基片上.該系統(tǒng)采用淋浴頭電極或中空陰極射頻等離子源來(lái)產(chǎn)生等離子,具有分形氣流分布的優(yōu)勢(shì).樣品臺(tái)可以通過(guò)RF或脈沖DC產(chǎn)生偏壓。并可以支持加熱和循環(huán)冷卻水的冷卻.使用250l/sec渦輪分子泵及3.5 cfm的機(jī)械泵,腔體可以達(dá)到低至10-7 torr的真空。標(biāo)準(zhǔn)配置包含1路惰性氣體、3路活性氣體管路和4個(gè)MFC.帶有*氣體分布系統(tǒng)的平面中空陰極等離子源使得系統(tǒng)可以滿足廣大范圍的要求,無(wú)論是等離子強(qiáng)度、均勻度,還是要分別激活某些活性組份,這樣系統(tǒng)可以覆蓋zui廣的可能性來(lái)獲得各種沉積參數(shù)。
NPE-4000(A)全自動(dòng)PECVD等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)應(yīng)用:
特點(diǎn):
請(qǐng)輸入賬號(hào)
請(qǐng)輸入密碼
請(qǐng)輸驗(yàn)證碼
以上信息由企業(yè)自行提供,信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé),化工儀器網(wǎng)對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。
溫馨提示:為規(guī)避購(gòu)買風(fēng)險(xiǎn),建議您在購(gòu)買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。