JKZC-DM系列探針臺是我司一款基于高校教育與實驗室而研發(fā)的基礎型晶圓測試探針臺。其結構緊湊,設計精密,價格實惠,配置靈活,高性價比。在高等院校教學和小型實驗室科研過程中得到了廣泛運用,配合對應的儀器儀表,用于測試各類器件的IV、CV、l-t、V-t,光電信號,1/f噪聲測試,器件表征測試,RF射頻等。如果您的測試器件pad電極大于50um,此系列探針臺。
JKZC-DN系列探針臺是我司一款增強型晶圓測試探針臺,最大可完成12英寸晶圓的電學測試。此系列探針臺釆 用高剛性顯微鏡龍門結構,顯微鏡可X-Y-Z方向進行精密位移調(diào)節(jié)。卡盤具備上下調(diào)節(jié)功能,可以使探針與 樣品快速分離,提高測試效率,在科研單位和半導體工廠都得到了運用,配合對應的儀器儀表,可以完 成集成電路/芯片/MEMS器件/PCB元器件/材料器件的IV/CV特性測試/管芯晶圓LED/LCD/太陽能電池行業(yè)的測試。此系列探針臺可以實現(xiàn)1μm以上的Pad電極測試。
JKZC-DH系列探針臺是一款綜合型晶圓測試探針臺,最大可完成12英寸晶圓的電學測試。此系列探針臺設備配 置十分豐富,不僅具備龍門架結構和卡盤的升降功能,還具備探針臺卡盤快速移動技術,可快速定位 樣品位置,提高測試效率。另外針座平臺具備三段式升降功能,在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到 快速分離,同時也方便探針卡的使用。此設備在大型實驗室或者半導體工廠得到廣泛運用,配合對應的儀器儀表,可以完成集成電路/芯片/MEMS器件/PCB元器件/材料器件的IV/CV特性測試/管芯晶圓/LED/LC- D/太陽能電池行業(yè)的測試。此系列探針臺可以實現(xiàn)1μm以上的Pad電極測試,也可以實現(xiàn)搭載探針卡的測 試。
JKZC-DSH系列探針臺是我司自主研發(fā)的一款雙面探針臺,最大可完成12英寸晶圓的正反面點針測試。在具備常 規(guī)探針臺的功能基礎上,可用于晶圓和PCB板的測試,對晶圓或者PCB板正面和背面同時扎針以實現(xiàn)各種 光/電性能測試需求的測試,或背面點針,正面收集光線等,運用十分豐富。該定制探針臺具有優(yōu)良的機械系統(tǒng),穩(wěn)定的結構,符合人體工程學,以及多項升級功能。此設備在激光器,LD/LED/PD的光強/波長測試等 方面得到了廣泛運用。如果您的產(chǎn)品也有雙面點針,或者背面點針的需求,此款產(chǎn)品。
JKZC-UC系列探針臺是一款在非真空條件下實現(xiàn)低溫環(huán)境的測試探針臺。該產(chǎn)品釆用液氮或者空氣壓縮機制冷 ,自動控溫,設備配置非常豐富。自帶屏蔽暗室,一方面可以屏蔽無線電磁干擾,另外一方面也可以保持氮氣正壓環(huán)境下樣品在低溫時無結霜。此設備對于一些有溫度需求的測試,尤其是低溫,運用非常廣泛。
JKZC-DCHH系列高低溫真空探針臺是我司自主研發(fā)的一款在環(huán)境下給樣品加載電學信號的設備。可以實現(xiàn) 器件及材料表征的IV/CV特性測試,射頻測試,光電測試等。通過液氮或者壓縮機制冷,可以在防輻射屏內(nèi)營造一個穩(wěn)定的測試環(huán)境。在特殊材料,半導體器件等研究方向具有廣泛運用。
極低溫測試:因為晶圓在低溫大氣環(huán)境測試時,空氣中的水汽會凝結在晶圓上,會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程 泵的運轉。
高溫無氧化測試:當晶圓加熱至300°C,400°C,500°C甚至更高溫度時,氧化現(xiàn)象會越來越明顯,并且溫度越 高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差,物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉。
我公司還生產(chǎn)各種非標準探針臺。
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