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河南三特爐業(yè)科技有限公司 河南三特爐業(yè)科技有限公司
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[供應(yīng)]STGCT-60-12-1200℃-CVD梯度管式爐

貨物所在地:河南洛陽市
產(chǎn)地:河南三特爐業(yè)科技有限公司
更新時間:2024-11-27 21:00:07
有效期:2024年11月27日 -- 2025年5月27日
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產(chǎn)品簡介
【產(chǎn)品名稱】1200℃-CVD梯度管式爐
【爐管尺寸】φ25--φ120mm
【加熱區(qū)】300mm+300mm
【額定溫度】1200℃
【控溫精度】±1℃
【應(yīng)用領(lǐng)域】化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法,是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用最為廣泛的用來沉積多種材料的技術(shù),包括大范圍的絕緣材料,大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。
詳細介紹
商品描述

【產(chǎn)品名稱】1200℃-CVD梯度管式爐

【爐管尺寸】φ25--φ120mm

【加熱區(qū)】300mm+300mm

【額定溫度】1200℃

【控溫精度】±1℃

【應(yīng)用領(lǐng)域】化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法,是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用最為廣泛的用來沉積多種材料的技術(shù),包括大范圍的絕緣材料,大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。


1200℃-CVD梯度管式爐是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法,是半導(dǎo)體工業(yè)中用來沉積多種材料的技術(shù),包括大范圍的絕緣材料,大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。

二、產(chǎn)品特點

爐外殼

1、外殼采用金屬Q235低碳鋼,表面靜電耐藥涂裝,抗腐蝕

2、 堅固的雙層金屬框架配合隔熱風(fēng)扇結(jié)構(gòu),爐表面溫度低

3、水平使用方式,上開蓋結(jié)構(gòu),操作方便

耐火材料

多層隔熱設(shè)計,由輕質(zhì)氧化鋁陶瓷纖維和高品質(zhì)隔熱板背襯組成,不含石棉成分,熱損失小,能耗低

加熱系統(tǒng)    

1、高品質(zhì)HRE螺旋電阻絲發(fā)熱體,牢固的鑲嵌在爐膛表面,在爐腔內(nèi)自由熱輻射加熱,使用壽命長

2、電阻絲環(huán)形加熱,從而實現(xiàn)爐內(nèi)的良好均勻性

溫度控制面板

1、PID配合SSR控制方式,溫度控制準(zhǔn)確

2、國際標(biāo)準(zhǔn)化N型鎳鉻硅熱電偶,測溫范圍0-1300℃,使用壽命長

3、爐門帶有開門斷電保護開關(guān)

程序控制器

1、適應(yīng)復(fù)雜工藝需求的的控制器

2、操作簡單直接,編程靈活

3、可編程4條曲線,單條曲線8個程序段

4、超溫和故障報警,自動進行保護

真空氣氛功能

1、帶有304不銹鋼的密封法蘭,獲得爐管內(nèi)的真空或者氣氛

2、高品質(zhì)石英玻璃工作管,也可選擇金屬或剛玉材質(zhì)的工作管,從而適應(yīng)不同的工況

3、高性能雙極旋片真空泵,可獲得5pa的真空度,數(shù)字真空計可顯示真空度

4、帶有氣路控制單元,控制單元可選擇1-3MFC自動控制系統(tǒng)



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