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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 類型 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,電氣 |
詳細(xì)介紹
EddyCus® map 2530RM電阻率測(cè)試儀在非接觸模式下自動(dòng)測(cè)量大型樣品的薄層電阻，最大可達(dá)300×300平方毫米（12×12英寸）。在手動(dòng)樣品定位時(shí)，該設(shè)備會(huì)自動(dòng)測(cè)量并顯示整個(gè)樣品區(qū)域的薄層電阻的準(zhǔn)確映射。測(cè)量設(shè)置允許輕松靈活地在低于 1 分鐘的快速測(cè)量時(shí)間或超過 10,000 個(gè)測(cè)量點(diǎn)的高空間測(cè)量分辨率之間進(jìn)行選擇。
EddyCus® map 2530RM電阻率測(cè)試儀產(chǎn)品介紹：
EddyCus® map 2530系列在非接觸模式下自動(dòng)測(cè)量大型樣品的薄層電阻，最大可達(dá)300×300平方毫米（12×12英寸）。在手動(dòng)樣品定位時(shí)，該設(shè)備會(huì)自動(dòng)測(cè)量并顯示整個(gè)樣品區(qū)域的薄層電阻的準(zhǔn)確映射。測(cè)量設(shè)置允許輕松靈活地在低于 1 分鐘的快速測(cè)量時(shí)間或超過 10,000 個(gè)測(cè)量點(diǎn)的高空間測(cè)量分辨率之間進(jìn)行選擇。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
· 非接觸式
· 快速、高重復(fù)度測(cè)量
· 高分辨率成像
· 最大 300 x 300 mm（12"）的樣品成像測(cè)量
· 封裝的導(dǎo)電層的表征
· 軟件集成分析功能，例如電阻均一性分布、線掃描、單點(diǎn)分析
· 測(cè)量數(shù)據(jù)保存和導(dǎo)出功能
· 缺陷識(shí)別、分析
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):
· 非接觸式成像
· 高速 (5 分鐘測(cè)量10,000個(gè)檢測(cè)點(diǎn))
· 重復(fù)性和精確性
· 高分辨率 (9 – 90,000個(gè)檢測(cè)點(diǎn))
· 封裝后的膜層成像
· 均勻性和缺陷成像
產(chǎn)品參數(shù)
測(cè)量技術(shù) | 非接觸式渦流傳感器 | ||||
基材 | 晶圓（錠）、玻璃、箔等 | ||||
最大限度。掃描區(qū)域 | 12 英寸/300 毫米 x 300 毫米（根據(jù)要求更大） | ||||
邊緣效應(yīng)校正/排除 | 2 – 10 毫米（取決于尺寸、范圍、設(shè)置和要求） | ||||
最大限度。樣品厚度/傳感器間隙 | 3 / 5 / 10 / 15 毫米（由最厚的樣品定義） | ||||
金屬薄膜（如鋁、銅）的厚度測(cè)量 | 2 nm – 2 mm (根據(jù)薄層電阻) | ||||
掃描間距 | 1 / 2.5 / 5 / 10 / 25 毫米（其他應(yīng)要求提供） | ||||
每次測(cè)量點(diǎn)數(shù)（方形樣品） | 0.5 分鐘 100 個(gè)測(cè)量點(diǎn) 3 分鐘 10,000 個(gè)測(cè)量點(diǎn) | ||||
掃描時(shí)間 | 8 英寸/200 毫米 x 200 毫米，1 至 10 分鐘（1 – 10 毫米間距） 12 英寸/300 毫米 x 300 毫米，2 至 6 分鐘（2.5 – 25 毫米間距） | ||||
設(shè)備尺寸 (w/h/d) | 31.5" x 19.1" x 33.5" / 785 毫米 x 486 毫米 x 850 毫米 | ||||
重量 | 90公斤 | ||||
更多可用功能 | 金屬厚度成像、各向異性和薄層電阻傳感器 | ||||
VLSR | LSR | MSR | HSR | VHSR | |
范圍 [歐姆/平方] | 0.0001–0.1 | 0.1–10 | 0.1–100 | 10–2000 | 1,000–200,000 |
精度/偏差 | ± 1% | ± 1–3% | ± 3 – 5% | ||
重復(fù)性 (2σ) | < 0.5% | < 1% | < 0.5% | ||
軟件和設(shè)備操控:
· 人性化的軟件
· 實(shí)時(shí)測(cè)繪測(cè)量
· 易于使用的統(tǒng)計(jì)分析選項(xiàng)
· 預(yù)定義的測(cè)量和產(chǎn)品配方（尺寸、間距、閾值）
· CSV 和 pdf 導(dǎo)出
· 3 用戶級(jí)別
· 用于參數(shù)轉(zhuǎn)換的材料數(shù)據(jù)庫(kù)
· 邊緣效應(yīng)補(bǔ)償
· 數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)和導(dǎo)入
· 數(shù)據(jù)集的導(dǎo)出（例如到 EddyEva、MS Excel、Origin）
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