Nikalyte NL-UHV超高真空納米顆粒沉積源允許將超純納米顆粒直接沉積在各種基底和材料上?？梢哉{(diào)整膜的密度，并且涂層能夠很好地附著在樣品表面。 NL-UHV有多種配置可供選擇，包括單個(gè)1英寸和2英寸源，以及三重1英寸源NL-DX3，后者允許單獨(dú)或作為合金沉積多達(dá)三種材料。

Nikalyte NL-UHV超高真空納米顆粒沉積源

 

產(chǎn)品編號(hào)：Nikalyte NL-UHV超高真空納米顆粒沉積源

類(lèi)別：制造、納米顆粒沉積、技術(shù)

 

NL-UHV能夠在超真空中生成和沉積納米顆粒，以在樣品上創(chuàng)建功能化表面。 可以通過(guò)精確控制納米顆粒的尺寸、組成和結(jié)構(gòu)來(lái)定制納米顆粒涂層的特性，從而實(shí)現(xiàn)定制化特性。

 

NL-UHV儀器允許將超純納米顆粒直接沉積在各種基底和材料上?？梢哉{(diào)整膜的密度，并且涂層能夠很好地附著在樣品表面。 NL-UHV有多種配置可供選擇，包括單個(gè)1英寸和2英寸源，以及三重1英寸源NL-DX3，后者允許單獨(dú)或作為合金沉積多達(dá)三種材料。 NL-QMS質(zhì)量過(guò)濾器提供了對(duì)納米顆粒沉積的高級(jí)控制，允許實(shí)時(shí)按質(zhì)量或直徑掃描或過(guò)濾納米顆粒。 NL-QMS通過(guò)用戶(hù)友好的WindowsTM軟件操作，為沉積過(guò)程提供了直觀(guān)的控制。

介紹超真空-合金納米顆粒沉積 Nikalyte NL-UHV，合金納米顆粒沉積儀器系列，能夠在超真空中將納米顆粒生成并沉積到您的樣品上，以創(chuàng)建功能化表面。通過(guò)精確控制納米顆粒的尺寸、組成和結(jié)構(gòu)，可以定制納米顆粒涂層的特性。

與化學(xué)技術(shù)不同，NL-UHV系列儀器允許將超純納米顆粒直接沉積在各種基底和材料上?？梢哉{(diào)整膜的密度，且膜本身可以高度附著在樣品表面。

NL-UHV可配備單個(gè)1英寸、2英寸源或三重1英寸源NL-DX3。NL-DX3允許使用兩種或三種材料同時(shí)單獨(dú)或作為合金沉積多達(dá)三種材料。

為了實(shí)現(xiàn)對(duì)納米顆粒沉積的控制，Nikalyte NL-QMS質(zhì)量過(guò)濾器允許實(shí)時(shí)按質(zhì)量或納米顆粒直徑掃描或過(guò)濾沉積的納米顆粒，使您能夠優(yōu)化生長(zhǎng)條件。NL-QMS通過(guò)

我們簡(jiǎn)單直觀(guān)的WindowsTM軟件進(jìn)行控制。

納米涂層孔隙率

NL-UHV能夠生成帶電和不帶電的納米顆粒，但大部分納米顆粒帶有負(fù)電荷。納米顆粒的帶電狀態(tài)意味著它們可以通過(guò)靜電操縱，無(wú)論是聚焦、偏轉(zhuǎn)還是加速。通過(guò)在樣品上施加正加速偏壓，可以控制沉積的納米顆粒層的孔隙率。對(duì)于低加速偏壓（約幾百伏），納米顆粒會(huì)輕柔地著陸并形成高度多孔的層。在更高的加速能量（約1千伏）下，納米顆粒會(huì)經(jīng)歷一定程度的界面混合，并且更牢固地附著在基底上。在非常高的加速能量下，沉積的納米顆粒層會(huì)恢復(fù)到塊體特性，對(duì)于軟基底，甚至可以植入基底材料中。 通過(guò)控制加速偏壓和選擇基底材料，可以創(chuàng)建一系列不同的涂層，從輕柔著陸的納米多孔層（適用于 delicate substrates，如 polymers 和 graphene）到高度附著的，甚至在某些情況下植入的納米顆粒涂層。通過(guò)在整個(gè)沉積過(guò)程中改變加速偏壓，也可以創(chuàng)建具有梯度孔隙率的涂層。

 

納米顆粒結(jié)構(gòu)

納米涂層通常是由晶體或非晶態(tài)納米顆粒組成的三維材料。 納米顆粒的結(jié)構(gòu)因其尺寸而受到強(qiáng)烈影響，因?yàn)槠浔砻婺芘c二維或塊體材料相比更強(qiáng)。 納米顆粒在聚集區(qū)的停留時(shí)間和等離子體溫度也在形成過(guò)程中發(fā)揮作用。 通過(guò)調(diào)整磁控管功率、聚集長(zhǎng)度和氣體流量等工藝參數(shù)，可以形成不同的納米顆粒結(jié)構(gòu)。 NL-UHV冷卻夾套還提供了選擇水冷或液氮冷卻的選項(xiàng)。 使用液氮冷卻可以對(duì)聚集區(qū)的溫度進(jìn)行更廣泛的控制，這對(duì)于在極低溫度下成核（形成納米顆粒）的材料（如硅）特別有用。 研究表明，液氮可以將硅的沉積速率提高幾個(gè)數(shù)量級(jí)。