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MX63和MX63L顯微鏡系統(tǒng)支持檢測(cè)尺寸達(dá)300毫米的晶圓、平板顯示器、印刷電路板以及其他樣品的質(zhì)量。這些符合人體工學(xué)設(shè)計(jì)的人性化系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì)，可在各種應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)Z佳觀察條件。結(jié)合奧林巴斯Stream圖像分析軟件使用時(shí)，從觀察到生成報(bào)告的整個(gè)檢測(cè)流程更簡(jiǎn)潔直觀。

滿足電子行業(yè)需求

功能性

為滿足電子行業(yè)的人體工學(xué)和安全性要求而設(shè)計(jì)的附加功能以增強(qiáng)分析能力

人性化

簡(jiǎn)潔的顯微鏡設(shè)置使用戶調(diào)整和再調(diào)用系統(tǒng)配置變得更為輕松。

*的成像技術(shù)

我們成熟可靠的光學(xué)器件和優(yōu)良的成像技術(shù)可獲得清晰圖像，并完成可靠檢測(cè)。

模塊化

用戶可通過(guò)選擇適合其應(yīng)用的模塊進(jìn)行系統(tǒng)定制。

*的分析工具

MX63系列的各種觀察功能可生成清晰的圖像，讓用戶能夠?qū)悠愤M(jìn)行可靠的缺陷檢測(cè)。全新
照明技術(shù)以及奧林巴斯Stream圖像分析軟件的圖像采集選項(xiàng)為用戶評(píng)估樣品和存檔檢測(cè)結(jié)
果提供更多選擇。

從不可見(jiàn)到可見(jiàn)：MIX觀察與采集
通過(guò)暗場(chǎng)與明場(chǎng)、熒光或偏光等其他觀察方法結(jié)合使用，MIX觀察技術(shù)能夠獲得特殊的觀察圖像。MIX觀察技術(shù)可讓用戶發(fā)現(xiàn)用傳統(tǒng)顯微鏡難以觀察的缺陷。暗場(chǎng)觀察所用的環(huán)形LED照明器具有可四象限分段照明的定向暗場(chǎng)功能。該功能可減少樣品光暈，有助于觀察樣品的表面紋理。