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濺射離子泵

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濺射離子泵

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真空應(yīng)用設(shè)備、真空獲得設(shè)備、太陽(yáng)能光伏裝備、工業(yè)化產(chǎn)品

產(chǎn)地類別 國(guó)產(chǎn)

濺射離子泵優(yōu)勢(shì)
1、濺射離子泵結(jié)構(gòu)采取仿真及優(yōu)化設(shè)計(jì),在1×10-7Pa真空度下具有不低于名義抽速的85%抽氣能力。
2、濺射離子泵在*真空(XHV)區(qū)域,濺射離子泵仍有較大抽氣能力。使用符合國(guó)家檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)的檢測(cè)裝置,得到低3.6x10-10Pa的檢測(cè)壓力。通過優(yōu)化設(shè)計(jì)的SIP400A濺射離子泵,極限壓力測(cè)試的下限已進(jìn)入10-11Pa。

濺射離子泵應(yīng)用領(lǐng)域

濺射離子泵產(chǎn)品專為超高真空的用戶設(shè)計(jì),可廣泛應(yīng)用于各種超高真空的科研裝置和工業(yè)設(shè)備,涉及的行業(yè)有儀器儀表、粒子加速器、同步輻射光源、大功率激光研究、表面物理、材料科學(xué)、空間模擬、電子顯微鏡、質(zhì)譜儀、通訊、真空校準(zhǔn)、真空冶煉、真空鍍膜、半導(dǎo)體應(yīng)用設(shè)備、真空電子器件、醫(yī)療等行業(yè)。



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