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原裝美國(guó)FerroTec密封 

美國(guó)Ferrotec公司成立于1980年，擁有30多年開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)密封件的經(jīng)驗(yàn)，為世界上苛刻的應(yīng)用問(wèn)題提供了密封的解決方案。Ferrotec提供了非常緊湊的小體積密封。在改裝的情況下，有時(shí)可用的軸向或徑向空間都非常有限，那么緊湊型的密封件就成了的選擇。而在新的設(shè)計(jì)中，選擇緊湊型的密封件往往有利于整個(gè)系統(tǒng)的布局?，F(xiàn)在 Ferrotec 是一家性的集團(tuán)公司，通過(guò)深入的公司間協(xié)作，來(lái)研究、制造和營(yíng)銷多元化的產(chǎn)品及服務(wù)。Ferrotec 的 Temescal 系統(tǒng)是的電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)，主要用于金屬化和制造化合物半導(dǎo)體。

產(chǎn)品范圍：

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美國(guó)Ferrotec多軸密封：

Ferrotec提供晶圓處理設(shè)備的多軸密封裝置。這些密封裝置提供了*的可重復(fù)性，且為零齒隙。直線運(yùn)動(dòng)常用于懸臂式軸承配置，可以優(yōu)化真空的應(yīng)用。與磁性耦合方式不同，多軸密封在每個(gè)軸上都配置了一個(gè)連續(xù)軸來(lái)傳遞扭矩到負(fù)載，因此抗扭剛度化，且對(duì)于任何真空的晶圓處理設(shè)備都可以提供的扭矩傳遞。

多軸向密封裝置的典型應(yīng)用包括：

晶圓處理

具有內(nèi)固定軸的CVD（化學(xué)氣相沉積法）晶圓的旋轉(zhuǎn)

原裝美國(guó)FerroTec密封