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TC WAFER晶圓測溫系統(tǒng) 晶圓硅片測溫熱電偶
閱讀：386 發(fā)布時間：2023-9-9
TC WAFER晶圓測溫系統(tǒng) 晶圓硅片測溫熱電偶
TC wafer是什么？
TC為熱電偶的簡稱， TC-Wafer是將高精度溫度傳感器鑲嵌在晶圓表面，對晶圓表面的溫度進行實時測量。通過晶圓的測溫點了解特定位置晶圓的真實溫度，以及晶圓整體的溫度分布，同還可以監(jiān)控半導體設備控溫過程中晶圓發(fā)生的溫度變化，獲得升溫、降溫以及恒溫過程期間的溫度溫度數(shù)據，從而了解半導體設備的溫度均勻度。
智測電子生產研發(fā)的Wafer-TC晶圓熱電偶溫度傳感器，其溫度范圍廣泛，智測電子的產品設計考慮到了用戶的實際需求，傳感器引線可定制，且采用了硅基膠粘劑和焊接技術，使其具有更好的性能和可靠性。 總之，智測電子的高精度溫度傳感器不僅在技術上具備優(yōu)勢，而且在服務方面也能夠為用戶提供專業(yè)的解決方案。
TC-Wafer晶圓溫度測量系統(tǒng)應用于許多行業(yè)，包括快速熱處理 (RTP)、快速熱退火 (RTA)、曝光后烘烤 (PEB)、化學氣相沉積 (CVD)、物理氣相沉積 (PVD)、ION 等應用注入、太陽能電池和許多其他熱驅動工藝。智測電子具有高精度溫度測量與控制技術和經驗，支持產品定制。
TC WAFER晶圓測溫系統(tǒng) 晶圓硅片測溫熱電偶