半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器專為半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計(jì)，能夠滿足高純度、高流量、高穩(wěn)定性的氫氣需求，是半導(dǎo)體生產(chǎn)、科研及實(shí)驗(yàn)中的理想選擇。

半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器儀器特點(diǎn)

1、全自動(dòng)化控制：

1）儀器全部工作過程由先進(jìn)的程序控制，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)恒壓、恒流。

2）支持多組并聯(lián)使用，通過串聯(lián)控制線輕松擴(kuò)展。

2、高效制氫技術(shù)：

1）采用固態(tài)電解質(zhì)（PEM）法，以超純凈水為原料，固體聚合物為電解質(zhì)。

2）貴金屬電極與有效的除濕裝置確保氫氣純度穩(wěn)定，降低原始濕度。

3、便捷操作：

1）只需打開電源開關(guān)即可產(chǎn)氫，無需復(fù)雜設(shè)置。

2）使用后直接關(guān)閉電源，無需泄壓，操作簡便。

3）可連續(xù)或間斷使用，產(chǎn)氫量穩(wěn)定，無衰減。

4、安全可靠：

1）配備全面的安全裝置，包括壓力控制、缺水自動(dòng)監(jiān)控和漏氣自動(dòng)檢測。

2）電解超純水制氫，無腐蝕、無污染，保障實(shí)驗(yàn)環(huán)境安全。

半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器技術(shù)參數(shù)

1）氫氣純度：99.999% - 99.9999%

2）氫氣流量：1m?/h

3）輸出壓力：0 - 80psi（約0.5MPa）

4）壓力穩(wěn)定性：< 0.001MPa

5）供電電源：220V±10%，50HZ

6）消耗功率：8kW

7）純水需求：＞2MΩ，1L/h

8）氫氣容積：＜20L

9）環(huán)境溫度：1 - 40℃

10）相對濕度：< 85%

11）海拔高度：＜2000米

12）外形尺寸：80cm（寬）x 90cm（深）x 100cm（高）

13）凈重：約200kg

半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器可與普拉勒超純水機(jī)聯(lián)用

由超純水機(jī)制取二級水，并儲(chǔ)存至水箱備用。氫氣發(fā)生器缺水時(shí)，自動(dòng)供給至氫氣發(fā)生器。多臺(tái)氫氣發(fā)生器可串聯(lián)使用，通過串聯(lián)控制線由一臺(tái)發(fā)生器控制其他 發(fā)生器，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)氣均勻分配。（以兩臺(tái)設(shè)備為例控制圖如下）