定制不銹鋼真空室

Nor-Cal產(chǎn)品使用新的設備和程序來檢查真空室。每次焊接均用氦質(zhì)譜儀進行泄漏檢查，以確保泄漏率為1x10 -9毫巴升/秒 或更少。機械檢查是通過坐標測量機（CMM）完成的。我們可以根據(jù)要求向客戶提供其腔室的CMM檢查報告。如果需要真空烘烤后要求殘留氣體分析（RGA）掃描和腔室泄漏檢查的客戶，則可額外獲得我們的腔室鑒定和測試設備。測試設備包括真空泵，壓力表，RGA，石英加熱器，氮氣回填和檢漏儀。通過高強度的紅外輻射燈實現(xiàn)腔室烘烤，這些燈被策略性地放置在整個腔室內(nèi)。真空烘烤可除去高分子量和低分子量的揮發(fā)性化合物。非水冷UHV腔室通常在150°C下烘烤至少24小時。（系統(tǒng)部件的高溫度，例如密封，腔室材料，閥門等可能會限制高烘烤溫度。）通過將相關(guān)的系統(tǒng)組件包裹在高溫玻璃纖維材料中，可以達到均勻的烘烤溫度。冷卻后，我們的RGA將提供分壓數(shù)據(jù)，確定殘留揮發(fā)性化合物的水平。典型掃描產(chǎn)生的原子質(zhì)量水平低于1x10-9毫巴原子量大于或等于44的總系統(tǒng)壓力是5×10之間-9和7×10 -10毫巴。腔室設計，使用的密封件和泵以及隨時間變化的高烘烤溫度會影響殘留的氣體成分和達到的終壓力。腔室掃描后，使用NIST可追蹤氦質(zhì)譜檢漏儀對腔室進行泄漏測試，終允許泄漏率為1x10 -10 mbar l / sec?；蚋?。

定制不銹鋼真空室

注：楊清辰發(fā)布