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　　日立掃描電子顯微鏡是一臺(tái)場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡，采用冷陰極場(chǎng)發(fā)射槍、高真空和精密的數(shù)字技術(shù)，可進(jìn)行顯微結(jié)構(gòu)的高分辨率、高質(zhì)量成像。本系統(tǒng)裝配錐形場(chǎng)發(fā)射槍和物鏡，可以在任何掃描速度下進(jìn)行高分辨率的成像以及高質(zhì)量的實(shí)時(shí)圖像顯示，使您即使在明亮的房間里也可觀察和記錄清晰的圖像，可以處理直徑大為8英寸的樣品。

　　日立掃描電子顯微鏡是智能計(jì)算機(jī)掃描電子顯微鏡，保證了與未來(lái)計(jì)算機(jī)技術(shù)的兼容性。它的圖形用戶(hù)界面可以控制條件設(shè)置、樣品臺(tái)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)、成像和數(shù)據(jù)存檔，確保操作穩(wěn)定可靠。系統(tǒng)的主計(jì)算機(jī)采用了網(wǎng)絡(luò)技術(shù)的Window? 2000，方便于從成像到數(shù)據(jù)處理的整個(gè)過(guò)程，使操作人員可以顯示實(shí)時(shí)圖像、通過(guò)網(wǎng)絡(luò)將數(shù)據(jù)保存到外接電腦、檢索和管理數(shù)據(jù)。

　　掃描電子顯微鏡主要通過(guò)探測(cè)二次電子和背散射電子來(lái)分析樣品的形貌信息和成分信息，也可以連接能譜儀通過(guò)采集X射線對(duì)樣品進(jìn)行成分分析。為了提高日立掃描電子顯微鏡圖像分辨率，必須通過(guò)將檢測(cè)器移動(dòng)到電磁透鏡上方來(lái)盡可能地縮短樣品和透鏡之間的距離。這樣，工作距離可以縮短很短。

　　樣品和電磁透鏡之間的檢測(cè)器設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單，并且通過(guò)電場(chǎng)的作用檢測(cè)二次電子。只需要將正電壓施加到檢測(cè)器的前端，并且檢測(cè)器可以“吸”二次電子。在過(guò)去，收集它。在場(chǎng)描電子顯微鏡將探測(cè)器安裝到電磁透鏡中之后，盡管樣品和透鏡之間的距離很近，但探測(cè)器和樣品之間的距離變得更遠(yuǎn)，并且收集二次電子的效率大大降低。

　　為了在不降低圖像分辨率的情況下以低電壓觀察樣品，通常的解決方案是應(yīng)用減速電壓、管內(nèi)減速或單色器技術(shù)。“但無(wú)論哪種解決方案涉及整個(gè)電光系統(tǒng)的重新設(shè)計(jì)和處理。在應(yīng)用減速電壓后，相當(dāng)于將樣品表面用作一階透鏡。使用這種”透鏡“，電光系統(tǒng)的設(shè)計(jì)將更加復(fù)雜，同時(shí)系統(tǒng)均勻性、的穩(wěn)定性更高，而一些缺陷將嚴(yán)重影響日立掃描電子顯微鏡的低電壓分辨率。