TMC潔凈室試驗臺63-635

全不銹鋼TMC ClassOne™工作站是一款高性能氣動隔振工作臺，設計安裝在地面上，可實現(xiàn)最大的潔凈室兼容性。隔振性能由相同的Gimbal Piston™元件提供，它還可為光學平臺、電子顯微鏡、精密天平和掃描隧道顯微鏡提供*與倫比的隔振性能。

TMC潔凈室試驗臺63-635

ClassOne工作站用潤濕酒精的無絨布進行了擦拭，并在出廠前用塑料進行雙層包裹。

Gimbal Piston隔振器

所有CleanBench工作臺均采用TMC的Gimbal Piston空氣隔振器作為標準配置。在并排測試中，Gimbal Piston的性能一直優(yōu)于其他空氣隔振器。它在所有軸上都有出色的低頻隔振性能，即使在極低的輸入激勵水平下也能保持其性能規(guī)格。專有的減振技術使Gimbal Piston能夠穩(wěn)定上重下輕的有效載荷，并能迅速消除隔振臺面的干擾。

優(yōu)點

從2 Hz開始的垂直和水平隔振

在10 Hz時振動減少95％以上

幾乎無摩擦，避免了滾動摩擦向靜摩擦過渡

通過充當萬向節(jié)來調整水平位移

即使是*低輸入水平，Gimbal Piston®空氣隔振器也可在各個方向上提供出色的隔振性能。它具有輕微的阻尼特性，對典型的低振幅環(huán)境地面振動具有高響應性，而對于嚴重的瞬態(tài)干擾（例如突然的負載變化或頂板撞擊），它可實現(xiàn)非常好的減振效果。結果表明，Gimbal Piston隔振器可提供*越的隔振效果，幾乎可以在幾秒鐘內消除任何嚴重干擾。它還可以穩(wěn)定具有相對較高重心的隔振系統(tǒng)，而不會影響隔振效果。

低振幅輸入響應

在設計有效的隔振器時，所遇到的最大挑戰(zhàn)是在周圍建筑地面振動的典型低振動幅度輸入下保持良好性能。隔振器規(guī)格通?；趯⒏粽衿鞣胖迷谡穹斎胨椒浅８叩摹罢駝优_"上進行的測量。這種輸入振幅約為毫米的測試會導致對性能的估計不切實際，并且具有誤導性，因為結果不能反映實際使用中的性能。

Gimbal Piston隔振器設計的*特之處在于即使在最安靜、真實的地面環(huán)境中也能保持其規(guī)定的共振頻率和高水平的衰減量。這種性能與如此低的振幅成線性關系，因為設計幾乎沒有摩擦，因此能夠避免滾動摩擦到靜摩擦過渡。

我們在典型的地面振動水平下測試的所有其他系統(tǒng)要么比聲稱的共振頻率高，要么通過隔振器支架的傳輸大幅增加。

我們強調性能規(guī)格在低輸入水平的重要性，因為我們在自己的測試和許多使用過的設備中反復觀察到，在更大的振幅和更高的頻率下更容易實現(xiàn)更好的性能。

水平與垂直輸入

我們創(chuàng)新的隔振器可以充當萬向節(jié)，使薄壁滾動密封膜片能夠適應水平位移。Gimbal Piston隔振器未使用電纜式鐘擺懸架，而是將載荷放在一個單獨的頂板上，該頂板上有一根向下伸入到主活塞井內的剛性桿。桿的底部有一個支撐在堅硬、平坦底座上的球形端部。由于球在底座上非常輕微地搖動（無滑動或滾動），因此，固有的柔性聯(lián)軸器可在隔振器中水平彎曲。即使輸入位移在微英寸以下水平，該方法也非常有效，因為靜摩擦幾乎與滾動摩擦相同。水平運動只是轉換為通常的垂直膜片彎曲，但不同相：活塞的一側向上，另一側向下，以萬向節(jié)式運動。

其他類型隔振器的局限性

厚壁橡膠膜片。大多數(shù)商用隔振器在活塞中采用廉價的厚壁橡膠膜片來實現(xiàn)垂直隔振。由于這些元件的相對不靈活性，低振幅隔振性能不太理想。雖然這種系統(tǒng)用手感覺起來較“柔軟"，但對于典型的低水平地面振動，橡膠更像是一個剛性聯(lián)軸器而并非柔性隔振器。

密封氣動隔振器（被動）。密封空氣隔振器不會自動根據(jù)負載變化進行調整。這種系統(tǒng)的主要局限性在于，它們太硬而不能有效地隔振。例如，一個真正1.5 Hz共振頻率的被動隔振器在負載、溫度或壓力發(fā)生微小變化時會垂直漂移幾英寸，并且需要不斷的手動調整。因此，實際密封隔振器并沒有這一設計的低共振頻率。

軸承滑板。 理論上，軸承滑板可通過其解耦效應實現(xiàn)水平隔振。實際上，如果要讓這種設計在低振幅下工作，就需要公差很小、經(jīng)過精密磨削的硬化軸承?，F(xiàn)有的商用版本不能克服低振幅下的靜摩擦力以使軸承滾動。此外，所有這些系統(tǒng)最初都很難對齊，并且很容易偏離校準范圍。

自制組裝。 自制隔振系統(tǒng) - 通常是放置在橡膠墊、網(wǎng)球或氣囊上的鋼板或花崗巖板 - 只有在干擾振動頻率高且需要最小隔振的情況下才能工作。雖然所有隔振器都使用在阻尼彈簧上放置質量的原理，但它們的性能主要通過彈簧剛度來區(qū)分：彈簧越硬，共振頻率越高。因此，自制解決方案受到其高共振頻率的限制。

具有1.5 Hz垂直共振頻率的Gimbal Piston™隔振器在2 Hz時開始隔振，并可在10 Hz時將振動降低95％以上。具有7 Hz共振頻率的鋼板下的網(wǎng)球在10 Hz以上開始隔振并在30 Hz時將振動減小90％。但是大多數(shù)建筑物地面在5到30 Hz之間表現(xiàn)出最高的振動位移，因此網(wǎng)球或橡膠墊通過放大5到10 Hz之間的環(huán)境頻率實際上會使問題變得更加嚴重。

規(guī)格

訂購表

帶Gimbal Piston隔振的ClassOne工作站

配件 - 所有工作臺尺寸

配件 - 取決于尺寸

*定擱板時需要